N面表面發(fā)射分布反饋（SE-DFB）半導(dǎo)體激光器以其良好的出光特性和應(yīng)用潛力得到了國際廣泛關(guān)注,隨著光柵制備技術(shù)的發(fā)展,SE-DFB半導(dǎo)體激光器輸出功率得到進(jìn)一步提升。但受SE-DFB半導(dǎo)體激光器關(guān)鍵制備工藝發(fā)展水平的限制,目前器件輸出功率和穩(wěn)定性尚不盡人意。針對(duì)上述問題,本論文主要圍繞976nm SE-DFB半導(dǎo)體激光器腔面膜與N面出光口制備工藝進(jìn)行了研究,主要研究內(nèi)容和成果如下:（1）針對(duì)激光器出光口和前腔面,優(yōu)化設(shè)計(jì)了由Ta₂O₅和SiO₂組成的增透膜,使用電子束蒸發(fā)離子輔助沉積技術(shù)制備了該增透膜,測試表明其在976nm處透射率約99.87%,且具有良好的透射帶寬。此外,還探究了電子束蒸發(fā)中,離子輔助沉積和高溫輔助沉積對(duì)ZnSe鈍化膜特性的影響,明確了用于激光器的ZnSe鈍化膜制備工藝條件。（2）圍繞激光器后腔面,優(yōu)化設(shè)計(jì)了HfO₂/Ta₂O₅/SiO₂高反膜。在激光入射面,該高反膜設(shè)計(jì)有3對(duì)損傷閾值較高的HfO₂

【文章來源】：長春理工大學(xué)吉林省

【文章頁數(shù)】：66 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

表面激射光柵耦合DFBTJS（分布反饋橫向結(jié)條紋）激光二極管遠(yuǎn)場輻射圖樣的示意

光柵耦合 DFB TJS（分布反饋橫向結(jié)條紋）激光二極管遠(yuǎn)場圖體激光器具有良好的光束質(zhì)量，且單程光子增益大于此后，國際上掀起了研究 SE-DFB 半導(dǎo)體激光器的[5]報(bào)道了金屬/AlGaAs 光柵的面發(fā)射分布反饋半導(dǎo)率達(dá)到 25mW，而在脈沖工作條件下峰值功率超過了 SE-DFB 半導(dǎo)體激光器陣列，30 個(gè)單元的 SE-DF 6.8W，27 個(gè)單元的 SE-DFB 半導(dǎo)體激光器陣列連對(duì)大功率、高光束質(zhì)量半導(dǎo)體激光器需求的日趨強(qiáng)-DFB 半導(dǎo)體激光器中的光柵也由傳統(tǒng)的矩形光柵演柵和環(huán)形光柵等。1992 年，紐約羅切斯特大學(xué)光電子束光刻技術(shù)制備了同心圓光柵（CCGSE）表面。激光器激射圓形對(duì)稱光束，光束發(fā)射角小于 1°且器具有良好的光譜線寬，寬度約為 0.1nm。

圖 1.3 曲線光柵 SE-DFB 激光器的底面結(jié)構(gòu)理公會(huì)大學(xué) Z.A.Hilali 等人[9]制備了光柵耦合表面激光柵提供反饋，二階DFB提供表面激射。出光窗口大2009 年，美國 Alfalight 公司[10-11]報(bào)道了高亮度面發(fā)光柵為金屬曲線光柵，如圖 1.4 所示，單管在連續(xù)工器實(shí)現(xiàn)了在連續(xù)工作模式下輸出功率為 73W 的最6 圓形陣列輸出功率分別達(dá) 200W 和 300W，組合兩者后，鮮有輸出功率超過該器件的報(bào)道。a） b）

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]高反射光學(xué)薄膜激光損傷研究進(jìn)展[J]. 董家寧,范杰,王海珠,鄒永剛,張家斌,侯春鴿.  中國光學(xué). 2018(06)
[2]鈦酸鑭薄膜在1064nm/532nm波長激光輻照下的光學(xué)特性[J]. 徐均琪,王建,李綿,李候俊,蘇俊宏.  光子學(xué)報(bào). 2018(02)
[3]飛秒激光作用下啁啾鏡膜層內(nèi)損傷相關(guān)動(dòng)力學(xué)[J]. 邢昕,袁偉,李澤漢,薛冰,小林孝嘉,杜鵑,趙元安,冷雨欣,邵建達(dá).  紅外與激光工程. 2017(11)
[4]Annealing Effects on Structural, Optical Properties and Laser-Induced Damage Threshold of MgF2 Thin Films[J]. Ting-Ting Tan,Bang-Jie Liu,Zhi-Hui Wu,Zheng-Tang Liu.  Acta Metallurgica Sinica（English Letters）. 2017(01)
[5]高性能偏振膜的研制[J]. 朱美萍,孫建,張偉麗,趙元安,劉曉鳳,趙嬌玲,易葵,邵建達(dá).  光學(xué)精密工程. 2016(12)
[6]光學(xué)薄膜抗激光損傷研究發(fā)展[J]. 程勇,陸益敏,唐璜,郭延龍,黃國俊,劉旭.  強(qiáng)激光與粒子束. 2016(07)
[7]ZnSe光學(xué)薄膜對(duì)GaAs表面特性的影響[J]. 李再金,李特,蘆鵬,王勇,李林,曲軼,薄報(bào)學(xué),劉國軍,馬曉輝.  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2013(04)
[8]SiO2保護(hù)膜對(duì)高反膜激光損傷特性的改善[J]. 劉曉鳳,李笑,趙元安,李大偉,邵建達(dá),范正修.  強(qiáng)激光與粒子束. 2010(12)
[9]提高光學(xué)薄膜激光損傷閾值的途徑[J]. 占美瓊.  上海第二工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào). 2010(04)
[10]面發(fā)射分布反饋半導(dǎo)體激光器及光柵耦合半導(dǎo)體激光器[J]. 戚曉東,葉淑娟,張楠,秦莉,王立軍.  中國光學(xué)與應(yīng)用光學(xué). 2010(05)

碩士論文
[1]半導(dǎo)體激光器腔面膜激光損傷閾值的研究[D]. 李莎.北京工業(yè)大學(xué) 2017
[2]面發(fā)射分布反饋半導(dǎo)體激光器的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 田錕.長春理工大學(xué) 2017
[3]1064nm固體激光薄膜損傷閾值的研究[D]. 張蕾.中國科學(xué)院研究生院(光電技術(shù)研究所) 2016
[4]HfO2光學(xué)薄膜激光預(yù)處理及其機(jī)理研究[D]. 王濤.西安工業(yè)大學(xué) 2014
[5]二階光柵分布反饋半導(dǎo)體激光器的研制[D]. 葉淑娟.中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所） 2010



本文編號(hào)：2951273