微流控芯片技術(shù)憑借其顯著的優(yōu)勢(shì):高集成度、試劑消耗量小、高效率、環(huán)境友好、微型化、可攜帶、低成本以及操控簡(jiǎn)單等,受到了廣泛的關(guān)注和研究,被譽(yù)為二十一世紀(jì)改變世界的七大技術(shù)之一。隨之微流控芯片的設(shè)計(jì)與加工作為微流控芯片技術(shù)的重要部分,引起了人們的重視。傳統(tǒng)的微流控芯片加工方法主要是基于MEMS技術(shù)的平面化工藝,得到的是2D微流控芯片,而3D微流控芯片具有更多高性能,該方法很難實(shí)現(xiàn)3D微流控芯片的加工,因此,3D微流控芯片的加工越來(lái)越急需解決。隨著激光技術(shù)不斷發(fā)展,脈沖寬度急劇減小,峰值功率大幅度提高,這使得飛秒激光在微納米加工領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)逐漸顯現(xiàn)出來(lái),并占領(lǐng)一席之地。飛秒激光雙光子聚合加工方法憑借其高空間分辨率、真三維加工、加工熱效應(yīng)極低且可加工的材料種類廣泛等特點(diǎn)被廣泛應(yīng)用在微流控芯片加工領(lǐng)域。與傳統(tǒng)微流控芯片加工方法相比,飛秒激光微納加工不需要掩模板,可以靈活可控地在微流控芯片中集成多樣化的3D微器件,賦予芯片更加優(yōu)良的性能。在很多微流控芯片應(yīng)用中,流速的實(shí)時(shí)測(cè)量是非常重要的。本文提出利用飛秒激光雙光子聚合加工方法在微流控芯片中成功集成了 3D彈簧狀流量傳感器,與當(dāng)前已存在的流量傳感器... 

【文章來(lái)源】：中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)安徽省 211工程院校 985工程院校

【文章頁(yè)數(shù)】：63 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．２?ａ）采用流式細(xì)胞儀實(shí)現(xiàn)細(xì)胞計(jì)數(shù)的示意圖；ｂ）流式細(xì)胞儀的實(shí)物圖

－－．：＇編國(guó)｜｜｜｜｜＆二￡．．：：．??圖１．２?ａ）采用流式細(xì)胞儀實(shí)現(xiàn)細(xì)胞計(jì)數(shù)的示意圖；ｂ）流式細(xì)胞儀的實(shí)物圖。??為突破該限制，研宄工作者利用微流控芯片技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)細(xì)胞計(jì)數(shù)。２０１４年，??Ｒｏｂｅｒｔｏ?Ｏｓｅｌｌａｍｅ小組１８１根據(jù)流式細(xì)胞計(jì)數(shù)技術(shù)，在微流控芯片上利用流動(dòng)聚??焦，將細(xì)胞束縛在一條很窄的芯流里面，保證單個(gè)細(xì)胞依次通過(guò)，實(shí)現(xiàn)了每秒??可以檢測(cè)５０００個(gè)細(xì)胞的結(jié)果，并且設(shè)備的體積的成本得到了很大程度的減小。??在細(xì)胞的分選和富集上，微流控芯片技術(shù)也提供很大的幫助。如，２０１０年??Ｈｕｉｂｉｎ?Ｗｅｉ等人ｗ在微流控芯片中集成了兩種尺寸多孔薄膜，如圖１．?３所示，??最后實(shí)現(xiàn)了三種不同尺寸粒子高純度、高效率的分選和富集。??（Ａ）??、？三？：努：：：??？?／??（８＞??（Ｃ）??Ｔ〇Ｐ？？？ｆ?￣Ｔｆ?—ｒ———?????，??圖１．３用于粒子分選的微流控芯片

－－．：＇編國(guó)｜｜｜｜｜＆二￡．．：：．??圖１．２?ａ）采用流式細(xì)胞儀實(shí)現(xiàn)細(xì)胞計(jì)數(shù)的示意圖；ｂ）流式細(xì)胞儀的實(shí)物圖。??為突破該限制，研宄工作者利用微流控芯片技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)細(xì)胞計(jì)數(shù)。２０１４年，??Ｒｏｂｅｒｔｏ?Ｏｓｅｌｌａｍｅ小組１８１根據(jù)流式細(xì)胞計(jì)數(shù)技術(shù)，在微流控芯片上利用流動(dòng)聚??焦，將細(xì)胞束縛在一條很窄的芯流里面，保證單個(gè)細(xì)胞依次通過(guò)，實(shí)現(xiàn)了每秒??可以檢測(cè)５０００個(gè)細(xì)胞的結(jié)果，并且設(shè)備的體積的成本得到了很大程度的減小。??在細(xì)胞的分選和富集上，微流控芯片技術(shù)也提供很大的幫助。如，２０１０年??Ｈｕｉｂｉｎ?Ｗｅｉ等人ｗ在微流控芯片中集成了兩種尺寸多孔薄膜，如圖１．?３所示，??最后實(shí)現(xiàn)了三種不同尺寸粒子高純度、高效率的分選和富集。??（Ａ）??、？三？：努：：：??？?／??（８＞??（Ｃ）??Ｔ〇Ｐ？？？ｆ?￣Ｔｆ?—ｒ———?????，??圖１．３用于粒子分選的微流控芯片

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]飛秒激光制備微光學(xué)元件及其應(yīng)用[J]. 曹小文,張雷,于永森,陳岐岱.  中國(guó)激光. 2017(01)
[2]基于飛秒激光直寫(xiě)的三維高定向碳納米管組裝[J]. 龍婧,熊偉,劉瑩,蔣立佳,周云申,李大衛(wèi),姜瀾,陸永楓.  中國(guó)激光. 2017(01)
[3]激光納米制造技術(shù)的應(yīng)用(邀請(qǐng)論文)[J]. 鐘敏霖,范培迅.  中國(guó)激光. 2011(06)
[4]超薄塑件注塑成形特性的試驗(yàn)研究與數(shù)值模擬[J]. 宋滿倉(cāng),劉柱,于同敏,趙丹陽(yáng).  機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2008(08)
[5]聚甲基丙烯酸甲酯微流控分析芯片的簡(jiǎn)易熱壓制作法[J]. 杜曉光,關(guān)艷霞,王福仁,方肇倫.  高等學(xué)�；瘜W(xué)學(xué)報(bào). 2003(11)

博士論文
[1]飛秒激光微納加工系統(tǒng)及功能器件工藝研究[D]. 郭銳.中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2008



本文編號(hào)：2902932