【摘要】：因為芯片表面符號用于說明芯片名字、型號和功能信息,所以芯片表面符號質(zhì)量檢測是芯片制造過程中的重要環(huán)節(jié)。芯片印刷符號通常為純色圖像,結(jié)構(gòu)特征明顯,并且符號的結(jié)構(gòu)性缺陷(結(jié)構(gòu)缺失、結(jié)構(gòu)冗余等)是使得圖像符號的可讀性變差的主要起因,所以針對印刷符號結(jié)構(gòu)特征的質(zhì)量評估方法研究具有重要的實際意義。因此本文結(jié)合這些問題以及企業(yè)芯片生產(chǎn)商的實際需求,對芯片表面印刷符號的自動質(zhì)量評估進(jìn)行關(guān)鍵技術(shù)研究,主要研究內(nèi)容如下:(1)基于符號邊緣信息的結(jié)構(gòu)相似性的質(zhì)量評估方法:該方法以結(jié)構(gòu)相似性質(zhì)量評估算法為基礎(chǔ),而基于結(jié)構(gòu)相似性的質(zhì)量評估算法使用結(jié)構(gòu)對比函數(shù)、局部亮度比較函數(shù)與局部對比度比較函數(shù)來構(gòu)造出一個客觀圖像質(zhì)量評價函數(shù),使得質(zhì)量評估具有計算過程簡單、客觀性較強(qiáng)等特點。但基于結(jié)構(gòu)相似性質(zhì)量評估算法忽略了圖像中不同部位對人的視覺系統(tǒng)的重要程度是不同的,因此本文提出使用梯度提取算子提取圖像邊緣信息作為權(quán)重,并結(jié)合結(jié)構(gòu)相似性質(zhì)量評價函數(shù)定義出一種新的圖像符號質(zhì)量評估公式,使得質(zhì)量評價的最終結(jié)果更加符合人眼視覺系統(tǒng)的主觀感受。通過實驗證明,該質(zhì)量評估算法對符號的結(jié)構(gòu)缺陷評價在保證評估速度的同時依然有著較好的表現(xiàn)。(2)面向形變圖像符號的質(zhì)量評估方法:芯片表面印刷符號出現(xiàn)少量形變或者位移時并不影響其可讀性,卻會導(dǎo)致前一種算法的評估結(jié)果變差,因此本文通過提出面向形變圖像符號的質(zhì)量評估方法來克服這一缺陷。該方法首先提取評估圖像符號和參考圖像符號的結(jié)構(gòu)特征,接著利用這些特征采用薄板樣條插值將待評估圖像符號對照參考圖像符號進(jìn)行結(jié)構(gòu)對齊,消除符號形變和位移的影響,同時提出形變量公式,用于判定形變較大的待評估符號;然后通過提出缺陷的檢測方法和缺陷簇、關(guān)鍵位置等概念,得到質(zhì)量評估的兩個主要影響因子:缺陷的本身特征和缺缺陷所在位置是否關(guān)鍵;最后基于上述特征定義出合理的打分策略。本質(zhì)量評估方法是一個客觀評價方法,它在只需要選取一張參考圖像符號的前提下,主要聚焦于圖象符號的結(jié)構(gòu)質(zhì)量評估,而非圖象的本身質(zhì)量評估,使得該評估結(jié)果在具備客觀性和對符號形變魯棒性的同時,也符合人對符號內(nèi)容的實際感覺。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類號】：TN406
【圖文】：

端制造業(yè)的核心模塊，因此芯片是每個國家都爭相發(fā)展的產(chǎn)業(yè)（思、紫光、臺積電等），發(fā)展芯片且也給能國家?guī)砀玫膰腊驳葒涝O(shè)備都集成了大量相互協(xié)要的角色，它與人們?nèi)粘Ｉ钪写蠓奖愕耐瑫r，也促進(jìn)了人與人興被美國禁運芯片事件后，中國的“命門”[1]，對于芯片的自主設(shè)工廠一般會在芯片表面印刷一些日期和功能等信息，這些符號信于區(qū)分外觀相似而功能不同芯片晰可辨，還需要保證符號信息沒保障印刷圖案質(zhì)量的百分之百優(yōu)良要的。

圖 1.2 存在少量形變的符號Fig 1.2 The symbols with minor deformations者來說，印刷圖像符號結(jié)構(gòu)中劃痕、冗余等缺感官性有著不同的影響，不過逐像素點比較體結(jié)構(gòu)的影響；為芯片表面印刷符號圖像，與其他自然圖像不并且具有比較直觀的結(jié)構(gòu)特性。因此本文聚焦像本身質(zhì)量（如分辨率、顏色等）評估，目標(biāo)的評分，使得該評估結(jié)果在具備客觀性的同時觀圖像符號質(zhì)量評價方法，具體為部分參考究內(nèi)容有：

圖 2.1 模板匹配法的原理圖Fig 2.1 Schematic diagram of template matching method歸一化互相關(guān)系數(shù)的大小來計算參考圖像與評估圖像之間下：( )( ) ( )( ) ( )/ /, ,1 1/ / / /2 2, ,1 1 1 1R , S ,F ,R , S ,W M H Ni j i jm nW M H N W M H Ni j i jm n m nm n m ni jm n m n 示參考圖像在 (i , j )處的區(qū)域圖，i ,jS 表示評估圖像在 圖像所分區(qū)域與檢測的精度呈反比，與計算量也呈反比，但使用歸一化互相關(guān)公式可以檢測到像素級別差異小、面積較缺陷的大概區(qū)域位置。測法

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2804088