【摘要】：因?yàn)樾酒砻娣?hào)用于說(shuō)明芯片名字、型號(hào)和功能信息,所以芯片表面符號(hào)質(zhì)量檢測(cè)是芯片制造過(guò)程中的重要環(huán)節(jié)。芯片印刷符號(hào)通常為純色圖像,結(jié)構(gòu)特征明顯,并且符號(hào)的結(jié)構(gòu)性缺陷(結(jié)構(gòu)缺失、結(jié)構(gòu)冗余等)是使得圖像符號(hào)的可讀性變差的主要起因,所以針對(duì)印刷符號(hào)結(jié)構(gòu)特征的質(zhì)量評(píng)估方法研究具有重要的實(shí)際意義。因此本文結(jié)合這些問(wèn)題以及企業(yè)芯片生產(chǎn)商的實(shí)際需求,對(duì)芯片表面印刷符號(hào)的自動(dòng)質(zhì)量評(píng)估進(jìn)行關(guān)鍵技術(shù)研究,主要研究?jī)?nèi)容如下:(1)基于符號(hào)邊緣信息的結(jié)構(gòu)相似性的質(zhì)量評(píng)估方法:該方法以結(jié)構(gòu)相似性質(zhì)量評(píng)估算法為基礎(chǔ),而基于結(jié)構(gòu)相似性的質(zhì)量評(píng)估算法使用結(jié)構(gòu)對(duì)比函數(shù)、局部亮度比較函數(shù)與局部對(duì)比度比較函數(shù)來(lái)構(gòu)造出一個(gè)客觀圖像質(zhì)量評(píng)價(jià)函數(shù),使得質(zhì)量評(píng)估具有計(jì)算過(guò)程簡(jiǎn)單、客觀性較強(qiáng)等特點(diǎn)。但基于結(jié)構(gòu)相似性質(zhì)量評(píng)估算法忽略了圖像中不同部位對(duì)人的視覺(jué)系統(tǒng)的重要程度是不同的,因此本文提出使用梯度提取算子提取圖像邊緣信息作為權(quán)重,并結(jié)合結(jié)構(gòu)相似性質(zhì)量評(píng)價(jià)函數(shù)定義出一種新的圖像符號(hào)質(zhì)量評(píng)估公式,使得質(zhì)量評(píng)價(jià)的最終結(jié)果更加符合人眼視覺(jué)系統(tǒng)的主觀感受。通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明,該質(zhì)量評(píng)估算法對(duì)符號(hào)的結(jié)構(gòu)缺陷評(píng)價(jià)在保證評(píng)估速度的同時(shí)依然有著較好的表現(xiàn)。(2)面向形變圖像符號(hào)的質(zhì)量評(píng)估方法:芯片表面印刷符號(hào)出現(xiàn)少量形變或者位移時(shí)并不影響其可讀性,卻會(huì)導(dǎo)致前一種算法的評(píng)估結(jié)果變差,因此本文通過(guò)提出面向形變圖像符號(hào)的質(zhì)量評(píng)估方法來(lái)克服這一缺陷。該方法首先提取評(píng)估圖像符號(hào)和參考圖像符號(hào)的結(jié)構(gòu)特征,接著利用這些特征采用薄板樣條插值將待評(píng)估圖像符號(hào)對(duì)照參考圖像符號(hào)進(jìn)行結(jié)構(gòu)對(duì)齊,消除符號(hào)形變和位移的影響,同時(shí)提出形變量公式,用于判定形變較大的待評(píng)估符號(hào);然后通過(guò)提出缺陷的檢測(cè)方法和缺陷簇、關(guān)鍵位置等概念,得到質(zhì)量評(píng)估的兩個(gè)主要影響因子:缺陷的本身特征和缺缺陷所在位置是否關(guān)鍵;最后基于上述特征定義出合理的打分策略。本質(zhì)量評(píng)估方法是一個(gè)客觀評(píng)價(jià)方法,它在只需要選取一張參考圖像符號(hào)的前提下,主要聚焦于圖象符號(hào)的結(jié)構(gòu)質(zhì)量評(píng)估,而非圖象的本身質(zhì)量評(píng)估,使得該評(píng)估結(jié)果在具備客觀性和對(duì)符號(hào)形變魯棒性的同時(shí),也符合人對(duì)符號(hào)內(nèi)容的實(shí)際感覺(jué)。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類號(hào)】：TN406
【圖文】：

端制造業(yè)的核心模塊，因此芯片是每個(gè)國(guó)家都爭(zhēng)相發(fā)展的產(chǎn)業(yè)（思、紫光、臺(tái)積電等），發(fā)展芯片且也給能國(guó)家?guī)?lái)更好的國(guó)防安等國(guó)防設(shè)備都集成了大量相互協(xié)要的角色，它與人們?nèi)粘Ｉ钪写蠓奖愕耐瑫r(shí)，也促進(jìn)了人與人興被美國(guó)禁運(yùn)芯片事件后，中國(guó)的“命門(mén)”[1]，對(duì)于芯片的自主設(shè)工廠一般會(huì)在芯片表面印刷一些日期和功能等信息，這些符號(hào)信于區(qū)分外觀相似而功能不同芯片晰可辨，還需要保證符號(hào)信息沒(méi)保障印刷圖案質(zhì)量的百分之百優(yōu)良要的。

圖 1.2 存在少量形變的符號(hào)Fig 1.2 The symbols with minor deformations者來(lái)說(shuō)，印刷圖像符號(hào)結(jié)構(gòu)中劃痕、冗余等缺感官性有著不同的影響，不過(guò)逐像素點(diǎn)比較體結(jié)構(gòu)的影響；為芯片表面印刷符號(hào)圖像，與其他自然圖像不并且具有比較直觀的結(jié)構(gòu)特性。因此本文聚焦像本身質(zhì)量（如分辨率、顏色等）評(píng)估，目標(biāo)的評(píng)分，使得該評(píng)估結(jié)果在具備客觀性的同時(shí)觀圖像符號(hào)質(zhì)量評(píng)價(jià)方法，具體為部分參考究?jī)?nèi)容有：

圖 2.1 模板匹配法的原理圖Fig 2.1 Schematic diagram of template matching method歸一化互相關(guān)系數(shù)的大小來(lái)計(jì)算參考圖像與評(píng)估圖像之間下：( )( ) ( )( ) ( )/ /, ,1 1/ / / /2 2, ,1 1 1 1R , S ,F ,R , S ,W M H Ni j i jm nW M H N W M H Ni j i jm n m nm n m ni jm n m n 示參考圖像在 (i , j )處的區(qū)域圖，i ,jS 表示評(píng)估圖像在 圖像所分區(qū)域與檢測(cè)的精度呈反比，與計(jì)算量也呈反比，但使用歸一化互相關(guān)公式可以檢測(cè)到像素級(jí)別差異小、面積較缺陷的大概區(qū)域位置。測(cè)法

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2804088