【摘要】：可調(diào)濾波器作為射頻前端中關(guān)鍵的元件,主要用于對射頻信號以外的頻帶進行抑制、頻率選擇和降低接收機交調(diào)失真等方面。因此,可調(diào)濾波器性能的優(yōu)劣直接決定無線收發(fā)器系統(tǒng)性能的好壞,具有調(diào)諧范圍寬、品質(zhì)因數(shù)高、插入損耗低、線性度高、集成化、低成本的高性能可調(diào)濾波器是下一代軟件無線電和無線通信系統(tǒng)的迫切需求。本文以新興的消逝模腔體技術(shù)可調(diào)濾波器為研究對象,使用HFSS(三維電磁仿真軟件)分析了其頻率調(diào)諧范圍以及品質(zhì)因數(shù)的影響因素,優(yōu)化并得出調(diào)諧率最高的參數(shù)。采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微電子機械系統(tǒng))工藝對光敏玻璃進行實驗,最終制作出全玻璃結(jié)構(gòu)的寬可調(diào)消逝模諧振器并測試。本文主要成果如下:1、通過HFSS對矩形諧振腔和消逝模諧振腔的電場與磁場分析,得出諧振器具有小型化、高品質(zhì)因數(shù)(Q值)的優(yōu)良特性。通過對同軸線與諧振器的耦合方式進行仿真,得出耦合強度與探針和容柱的間距成正比。2、從理論到仿真分析了消逝模腔體尺寸對諧振器諧振頻率和Q值的影響,得出提升調(diào)諧率的主要方法有:(a)減小諧振腔和電容柱的物理尺寸;(b)減小加載電容兩極板的間距;(c)在加載電容兩極板之間增加高介電常數(shù)、低損耗的介質(zhì)薄膜。最后,通過HFSS優(yōu)化出調(diào)諧率較高的各部分尺寸,腔體半徑長3mm,電容柱高1.6mm,電容柱半徑為0.22mm并在加載電容兩極板之間增加介質(zhì)薄膜。通過對消逝模諧振器的仿真,得出調(diào)諧率達到4倍頻以上。3、以仿真模型與MEMS加工原理為依據(jù),探究了在光敏玻璃上制作寬可調(diào)消逝模諧振器的工藝實驗,最終加工出了全玻璃結(jié)構(gòu)的消逝模諧振器,通過矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀測試得出,其調(diào)諧范圍在1.8GHz-8GHz,調(diào)諧率接近4倍頻。
【學位授予單位】：電子科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2018
【分類號】：TN713;TN751.2

【參考文獻】

相關(guān)期刊論文 前5條

1 楊志;楊擁軍;李倩;胡小東;;寬范圍可調(diào)MEMS集成濾波器的設(shè)計與制作[J];微納電子技術(shù);2011年02期

2 ;Development of Glass Ceramics Made From Ferrous Tailings and Slag in China[J];Journal of Iron and Steel Research(International);2007年02期

3 孫紅兵;裴元吉;金凱;王榮;;單諧振腔外部Q值的計算方法[J];強激光與粒子束;2006年01期

4 徐凱,潘石,吳世法,孫偉,李銀麗;熱拉伸和化學腐蝕相結(jié)合制備彎曲光纖探針[J];物理學報;2003年05期

5 王陽元,武國英,郝一龍,張大成,肖志雄,李婷,張國炳,張錦文;硅基MEMS加工技術(shù)及其標準工藝研究[J];電子學報;2002年11期

相關(guān)碩士學位論文 前4條

1 莫坤山;電容加載腔體濾波器的小型化技術(shù)[D];電子科技大學;2013年

2 雷瑤;寬調(diào)諧高線性電調(diào)濾波器的研究[D];電子科技大學;2011年

3 霍靜;圓形壓電單晶執(zhí)行器的撓度特性的模擬、分析與優(yōu)化[D];重慶大學;2010年

4 張海;電容加載同軸諧振腔的微波能應(yīng)用研究[D];電子科技大學;2006年

本文編號：2787728