【摘要】：當(dāng)前學(xué)術(shù)界多利用最新的MOCVD技術(shù)研發(fā)制造半導(dǎo)體裝置,所謂的MOCVD即金屬有機(jī)化合物氣相沉積,由于紅波的特殊波長使其可以穿過該材料,所以進(jìn)行該材料的生產(chǎn)時(shí),多用紅外線式溫度測量儀對外延片得溫度進(jìn)行測量,由于外研生長量子受溫度的影響變化明顯,所以本次研究活動(dòng)全面、細(xì)致的論述了實(shí)現(xiàn)外延在線式表層溫控的具體辦法和相關(guān)測量設(shè)備的設(shè)計(jì)方式,具體研究過程如下所示:(1)對比多種溫度測量辦法后,考慮到該材料的特殊性質(zhì),最終決定通過對近紫外波段熱輻射進(jìn)行測量籍此獲取其表層溫度數(shù)值。采用該測量辦法需要對弱訊號的測量辦法以及噪聲特性展開研究,從而利用相關(guān)辦法除去噪聲。(2)以MOCVD裝置的特殊結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ),開發(fā)了配套的在線式溫控系統(tǒng)。該系統(tǒng)特殊的機(jī)械構(gòu)造以及先進(jìn)的垂直入射式探頭光學(xué)使其空間占用極小。此外,光路探頭與抗振動(dòng)處的大視場設(shè)計(jì)能夠令其探頭發(fā)生1°的傾斜時(shí),對應(yīng)反射訊號的變化不超過2個(gè)百分點(diǎn)。(3)其電路能夠?qū)ED光源以及光電倍增管分別實(shí)現(xiàn)恒功率和放大倍數(shù)的精確控制。借助軟件對各個(gè)溫度下對應(yīng)的LED功率和光電倍增管的放大倍數(shù)做出了設(shè)定,確保LED光源同熱輻射在信號強(qiáng)度方面始終保持同步,且輸出訊號強(qiáng)度較高。(4)借助實(shí)驗(yàn)以及現(xiàn)場測試的方式對所設(shè)計(jì)的溫控系統(tǒng)進(jìn)行檢驗(yàn)。根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,該系統(tǒng)可對750至1 200℃內(nèi)的溫度進(jìn)行測量,而且其測量結(jié)果得重復(fù)度不超過10℃。對于不同溫度段該系統(tǒng)的精確度略有差別,整體來看在該系統(tǒng)的測量區(qū)間內(nèi),溫度越高其測量結(jié)果的精確度便越高,溫度超過1 000℃時(shí),誤差將在0.2℃以內(nèi),所測溫度低于870℃時(shí),其誤差將處于3℃以內(nèi)。該溫控系統(tǒng)能夠?qū)ν庋拥谋韺訙囟茸龀鰷?zhǔn)確測量,而且得到了PrismoD-Blue485 MOCVD裝置的驗(yàn)證。
【學(xué)位授予單位】：石家莊鐵道大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2019
【分類號】：TN304.055
【圖文】：

第一章 緒 論溫度在線控制的目的和意義是紫外領(lǐng)域的光電特性表現(xiàn)極佳關(guān)注與大量應(yīng)用。MOCVD 法是當(dāng)內(nèi)部構(gòu)造做出了詳細(xì)展示，從下態(tài)下，外延片即處于石墨盤上。通過電阻絲和射頻兩種方式進(jìn)行的運(yùn)輸，最終反應(yīng)物將通過噴淋室內(nèi)是一個(gè)密閉環(huán)境，但為了便 的上蓋處裝有測量溫度的裝置度信息。

要求及工作環(huán)境概述要使用 MOCVD 設(shè)備實(shí)現(xiàn)外延的生力以及各氣體流量都會(huì)對生長效果產(chǎn)因素做出嚴(yán)格而精確的控制。我國中微公司開發(fā)的一款 MOCVD 超薄層外延半導(dǎo)體。本次研究活動(dòng)即延的生長過程，并根據(jù)該裝置的具體款MOCVD設(shè)備的上蓋圖，該裝置主 SiC 和 A1SiN 兩個(gè)不同的生長階段上蓋結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)。從 2-2 圖中可見該置較為復(fù)雜。因此進(jìn)行溫度測量系統(tǒng)現(xiàn)設(shè)計(jì)的系統(tǒng)因空間不足而無法安裝

圖 2-2 PrismoD-Blue MOCVD 設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖可以知道，對外延片的表層溫度進(jìn)行測量度與精確度均要求較高。此外進(jìn)行結(jié)構(gòu)方裝空間等多個(gè)方面展開綜合考慮。理量形式當(dāng)前主要有接觸和非接觸兩種不同需要保證被測物體同測試儀器的傳感器形傳遞的原理，只有傳感器同被測物體處精確溫度值，該測量辦法由于其特性并不[7]。此外，由于該測量形式需要同被測被測物受損。由于本次研究活動(dòng)的被測物用。隨著溫度的改變，物體的熱輻射將隨進(jìn)行測量的辦法即為非接觸式測量，不與

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本文編號：2773605