【摘要】：半導(dǎo)體行業(yè)的切片工藝在整個(gè)半導(dǎo)體元器件制造過程占據(jù)重要地位。航空航天、汽車等領(lǐng)域也有著很多切縫、切槽的需求。同時(shí)切片、切槽等工藝向著超薄化、高一致性、高表面質(zhì)量的方向發(fā)展。利用多線電火花線切割加工進(jìn)行切片、切槽等加工有著高效率、高精度等優(yōu)勢,從而逐漸成為研究熱點(diǎn)。本課題主要從多線切割加工基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)、放電率檢測、放電點(diǎn)分布等角度開展研究。為探索多線切割加工效率的變化趨勢,進(jìn)行單線、多線切割加工效率對(duì)比實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了多線電火花線切割加工能夠切實(shí)地提高加工效率;并得到了加工效率隨著線數(shù)增長的變化趨勢。隨后基于三線切割加工分析脈寬、加工電流、張力等因素對(duì)于加工工藝指標(biāo)的影響規(guī)律,為多線切割加工過程中的參數(shù)設(shè)置提供支持。為實(shí)現(xiàn)多線切割加工中放電率的檢測,搭建了一套放電率檢測系統(tǒng)。基于電壓閾值比較設(shè)計(jì)硬件原理電路,利用單片機(jī)進(jìn)行波形檢測程序及波形統(tǒng)計(jì)程序的編寫,利用LABVIEW軟件編制上位機(jī),該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了加工過程放電率準(zhǔn)確地檢測。基于搭建的放電率檢測系統(tǒng),進(jìn)行加工效率實(shí)驗(yàn)中的放電率統(tǒng)計(jì),從放電率角度解釋了加工效率增長趨勢變化的原因。為觀測多線切割加工中放電點(diǎn)分布,基于電位差法推導(dǎo)多線切割放電點(diǎn)位置檢測原理,利用PCI數(shù)據(jù)采集卡與LABVIEW軟件搭建了一套放電點(diǎn)檢測系統(tǒng)。同時(shí)提出了放電點(diǎn)數(shù)量占比與放電點(diǎn)分布均方差兩種放電點(diǎn)分布評(píng)價(jià)手段�；诜烹婞c(diǎn)檢測系統(tǒng),分析了在兩線切割中張力、脈沖間隔等對(duì)于總體放電點(diǎn)分布的影響規(guī)律�；谝陨蟽商讬z測系統(tǒng),從放電率、放電點(diǎn)分布角度研究單線大厚度、雙線小厚度切割實(shí)驗(yàn)加工效率變化、加工表面燒傷現(xiàn)象產(chǎn)生的原因。利用放電率、放電點(diǎn)檢測系統(tǒng)研究了效率實(shí)驗(yàn)中加工效率變化趨勢產(chǎn)生的原因。通過對(duì)于十線切割過程的研究驗(yàn)證了該分析的正確性。綜上驗(yàn)證了放電率、放電點(diǎn)檢測系統(tǒng)能夠從放電率、放電點(diǎn)分布角度揭示多線切割加工過程,為后續(xù)多線切割改善提供方向。
【圖文】：

鍍銅鋼圓環(huán)形電極絲[22]

圖 1-4 三菱開發(fā)多線線切割樣機(jī)[23]圖 1-5 多線切割多晶硅切縫圖[23]在國內(nèi)，南航的黃因慧教授等提出了雙線電火花線切割的構(gòu)想，并對(duì)于雙切割裝置進(jìn)行了初步設(shè)計(jì)與分析。同時(shí)，，針對(duì)于分析了線切割加工過程中的絲的振動(dòng)問題，并輔助振動(dòng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。實(shí)驗(yàn)給出了運(yùn)絲速度等對(duì)于切縫寬度
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號(hào)】：TN305.1

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2681312