【摘要】：晶硅棒料切割是硅片加工中的一道重要工序,由于硅片被廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路和光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)中,因此設(shè)計一套效率高、產(chǎn)量大的線切割控制系統(tǒng)意義重大。目前硅片切割主要有游離磨料線切割,金剛石線切割等方式。由于金剛石線切割具有性價比高的優(yōu)點,被廣泛使用。本文基于PLC設(shè)計了一套能夠?qū)Ч璋袅线M(jìn)行多片切割的金剛石線切割機控制系統(tǒng)。主要完成了以下內(nèi)容:第一:闡述了國內(nèi)外金剛石線切割控制技術(shù)的發(fā)展、現(xiàn)狀及研究意義,并總結(jié)了本課題的主要研究內(nèi)容。第二:根據(jù)金剛石線切割機的機械結(jié)構(gòu),設(shè)計出合適的控制系統(tǒng)方案,并具體闡述控制系統(tǒng)收放線部分,排線部分,進(jìn)料部分,主控單元和顯示部分,張力補償部分需要完成的工作,計算并確定使用的元器件型號。第三:對控制系統(tǒng)輸入輸出部分,張力補償部分,控制器與驅(qū)動器電機等硬件部分進(jìn)行了設(shè)計開發(fā),并設(shè)計出了整個控制系統(tǒng)接線圖。第四:對控制系統(tǒng)軟件部分進(jìn)行了設(shè)計�；谂_達(dá)DOP soft設(shè)計出了帶有自動/手動模式兩種模式的觸摸屏監(jiān)控界面,能夠監(jiān)測金剛石線上的張力以及能夠?qū)崿F(xiàn)實時調(diào)速�；谂_達(dá)ISP Soft編寫了線切割系統(tǒng)控制程序能夠?qū)崿F(xiàn)對進(jìn)料電機和收放線電機,排線電機的準(zhǔn)確控制。
【學(xué)位授予單位】：青島大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號】：TN305.1

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2621068