【摘要】：現(xiàn)代壓電石英晶體振蕩器向小尺寸、低功耗、高頻率、高穩(wěn)定度的方向發(fā)展,石英晶體振蕩器產(chǎn)品面臨著小型化發(fā)展的巨大壓力。在過去的數(shù)十年來,石英振子的制造工藝一直沿用機(jī)械研磨加工工藝。當(dāng)傳統(tǒng)機(jī)械研磨加工工藝開發(fā)更小型化的石英晶體元件,遭遇到工藝瓶頸影響。針對傳統(tǒng)機(jī)械研磨工藝難以加工小型化石英振子的現(xiàn)狀,開發(fā)新型工藝用于小型化石英振子設(shè)計(jì)、制造勢在必行。本論文正是針對上述問題,以石英晶體振蕩器中關(guān)鍵部件石英振子小型化設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)作為主要的研究對象,在深入分析石英振子工作的理論基礎(chǔ)和技術(shù)原理上,提出了一種新型小型化石英振子方案。對該石英振子設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)進(jìn)行了詳盡的討論和研究。主要內(nèi)容為:1.在分析討論石英晶體振蕩器基礎(chǔ)理論和工作原理的基礎(chǔ)上,提出了一種具有凸臺結(jié)構(gòu)的石英振子,這種石英振子具有設(shè)計(jì)參數(shù)簡單、加工精度可有效控制、體積小、生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)。2.采用有限元分析法,仿真分析了新型小型化石英振子的諧振響應(yīng),并通過調(diào)整設(shè)計(jì)凸臺高度、尺寸,分析了寄生振動(dòng)與凸臺參數(shù)設(shè)計(jì)之間的關(guān)系。完成了F=19.2MHz 2520規(guī)格石英振子設(shè)計(jì)。3.研究分析了傳統(tǒng)石英振子加工工藝和日本QMEMS石英加工工藝的特點(diǎn),提出了一種新型石英振子晶片加工工藝技術(shù)。該技術(shù)具有工藝簡單、生產(chǎn)成本低、設(shè)備引入少的優(yōu)點(diǎn)�；趯=19.2MHz石英振子晶片的加工,就石英振子尺寸加工、石英振子外形加工、石英振子頻率調(diào)整工作進(jìn)行了的深入研究,并得到相關(guān)研究結(jié)論。制作完成的石英振子滿足課題提出的加工參數(shù)指標(biāo)。4.通過將制作的石英振子封裝成石英晶體振蕩器,實(shí)際測試出新型小型化石英振子的性能,石英振子在溫度-頻率特性參數(shù)、諧振頻率與諧振電阻參數(shù)方面均符合產(chǎn)品實(shí)際應(yīng)用要求。
【學(xué)位授予單位】：電子科技大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2017
【分類號】：TN752.2

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2567881