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溝道長度對碳納米管薄膜晶體管閾值電壓的調(diào)控作用

發(fā)布時間:2019-11-12 15:38
【摘要】:根據(jù)碳納米管薄膜晶體管特有的滲流輸運機制,通過改變器件的溝道長度實現(xiàn)了對器件閾值電壓的調(diào)控。與通常的晶體管閾值電壓調(diào)控方法相比,該方法具有工藝簡單且閾值電壓調(diào)控范圍大的優(yōu)勢。這種閾值調(diào)控方法不僅是對常規(guī)晶體管閾值調(diào)控方法的有益補充,同時也對碳納米管薄膜晶體管的實際應用進程具有重要的促進作用。

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本文編號:2559835

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