【摘要】：根據(jù)碳納米管薄膜晶體管特有的滲流輸運(yùn)機(jī)制,通過改變器件的溝道長度實現(xiàn)了對器件閾值電壓的調(diào)控。與通常的晶體管閾值電壓調(diào)控方法相比,該方法具有工藝簡單且閾值電壓調(diào)控范圍大的優(yōu)勢。這種閾值調(diào)控方法不僅是對常規(guī)晶體管閾值調(diào)控方法的有益補(bǔ)充,同時也對碳納米管薄膜晶體管的實際應(yīng)用進(jìn)程具有重要的促進(jìn)作用。

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