發(fā)布時間：2019-10-22 07:49

【摘要】：結(jié)合實際工藝模擬多晶硅鑄錠生產(chǎn)過程中的熱場分布情況,研究了該熱場對所生產(chǎn)多晶硅片缺陷分布的影響。同時采用對多晶硅片化學(xué)腐蝕拋光處理和位錯刻蝕液處理之后的表面缺陷形貌表征的方法,以及觀察掃描電鏡(SEM)視角下其表面微結(jié)構(gòu),研究了采用定向凝固多晶硅錠工藝所得的多晶硅片表面缺陷情況。結(jié)果顯示模擬該生產(chǎn)過程中熱場分布情況對多晶硅片缺陷的影響和實驗所得的結(jié)果相吻合。
【作者單位】： 渤海大學(xué)新能源學(xué)院;錦州奧克陽光新能源有限公司;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(No.11304020) 遼寧省教育廳一般項目(No.1L2012401)
【分類號】：TN304.12

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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1 劉陜　董帥 陳志奎;臻岳光伏700兆瓦高純度多晶硅片項目開工[N];鎮(zhèn)江日報;2011年

2 于祥明;江西賽維LDK獲批100MW多晶硅片項目[N];上海證券報;2007年

3 于振宇、孟凡俊、韓冬;唐山海泰新能科技有限公司10萬多晶硅片遠(yuǎn)銷臺灣[N];唐山勞動日報;2009年

4 北京京運(yùn)通科技股份有限公司 黎志欣;2014年多晶硅片轉(zhuǎn)換效率將超18%[N];中國電子報;2013年

5 記者 龍亞芳;華源光伏太陽能多晶硅片一期工程開工建設(shè)[N];永州日報;2009年

6 張瑩瑩;向日葵近1億增資子公司 助力多晶硅片項目[N];證券時報;2011年

7 記者 姜小毛　特約記者 廖淑艷;高效多晶硅片投入大批量生產(chǎn)[N];中國化工報;2012年

8 記者 姜小毛;賽維太陽能級多晶硅片亞洲居首[N];中國化工報;2006年

9 林洋新能源有限公司工程技術(shù)中心 楊雷;澆鑄多晶硅片比重上升 單體電池生產(chǎn)成本日趨下降[N];中國電子報;2009年

10 本報記者 陳其玨;賽維LDK年底有望問鼎全球硅片老大[N];上海證券報;2008年

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3 徐宗勝;切割單晶及多晶硅片表面層損傷研究[D];大連理工大學(xué);2013年

本文編號：2551545