【摘要】：為了抑制激光在線測(cè)厚時(shí)入射角波動(dòng)引起的誤差,根據(jù)幾何光學(xué)分析了激光透射式和反射式測(cè)厚原理,發(fā)現(xiàn)激光在特定入射角附近波動(dòng)時(shí),兩種方式的測(cè)厚誤差一正一負(fù),具有互補(bǔ)性,在此基礎(chǔ)上提出基于透射和反射同時(shí)測(cè)量的互補(bǔ)式測(cè)厚方法,該方法可將誤差限定在透射式和反射式測(cè)量誤差之間,抑制在線測(cè)厚誤差.對(duì)于有機(jī)玻璃平板,理論計(jì)算表明,當(dāng)激光入射角在67.013°±4°波動(dòng)時(shí),相對(duì)誤差絕對(duì)值在1%以內(nèi),誤差抑制率均值大于90%;當(dāng)入射角為61.536°時(shí),誤差抑制率為100%.利用線結(jié)構(gòu)激光器和兩個(gè)線陣CCD相機(jī)搭建互補(bǔ)式測(cè)厚實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),測(cè)量了標(biāo)稱厚度為1~5mm的有機(jī)玻璃平板,與透射式和反射式測(cè)厚結(jié)果進(jìn)行對(duì)照,除厚度為1mm的玻璃外,互補(bǔ)式測(cè)厚誤差被限制在透射式和反射式之間,最大誤差抑制率達(dá)61%.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該互補(bǔ)式方法有效抑制了誤差,提高了在線厚度測(cè)量準(zhǔn)確度,解決了在線測(cè)量不可重復(fù)性導(dǎo)致的無(wú)法通過(guò)均值法減小誤差的問(wèn)題.
【作者單位】： 燕山大學(xué)理學(xué)院;燕山大學(xué)里仁學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(No.11504320)資助~~
【分類號(hào)】：TN247

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