【摘要】：以可見的激光光源代替不可見的電子光源,以玻璃透鏡代替電磁透鏡控制光路,以光柵樣品代替薄膜晶體樣品,設(shè)計(jì)透射電子顯微鏡模擬器(TEMS)并制作樣機(jī)。對(duì)樣機(jī)功能進(jìn)行測(cè)試表明:TEMS不但能很好地模擬TEM的圖像模式和衍射模式,且可操作性強(qiáng)、模擬過程中的光路具有可視化特點(diǎn)。在實(shí)踐教學(xué)中應(yīng)用TEMS能提升學(xué)生對(duì)TEM的認(rèn)知效果。
【圖文】：

象摸式暗場(chǎng)像

Ｓ的光柵樣品，是由一維光柵組成的無色透明ＰＭＭＡ塑料元件。一維光柵見圖２（ａ），為一組等寬、平行、等距的狹縫，其光柵衍射花樣為共線分布的若干等距光斑，能夠模擬平行晶面的布拉格衍射花樣［１２］，花樣較為簡(jiǎn)單又符合實(shí)踐教學(xué)要求。由于真實(shí)晶體樣品在不同區(qū)域的晶面間距不同，就需要制作由不同的一維光柵組成的光柵樣品，圖２（ｂ）是在ＰＭ－ＭＡ塑料的３個(gè)不同區(qū)域分別刻制１００線／ｍｍ、１５０線／ｍｍ、２００線／ｍｍ３種規(guī)格的光柵樣品的示意圖。圖２一維光柵和光柵樣品示意圖ＴＥＭＳ采用傅里葉光學(xué)透鏡作為物鏡，其焦距、直徑分別為１３０ｍｍ、８０ｍｍ，起著將經(jīng)過光柵后產(chǎn)生的衍射束與透射束會(huì)聚與一次放大的作用，會(huì)聚作用獲得物鏡焦平面的衍射花樣，一次放大作用獲得物鏡８９岳峻逸，等：透射電子顯微鏡模擬器研制
【作者單位】： 北京理工大學(xué)材料學(xué)院;北京理工大學(xué)信息與電子學(xué)院;
【基金】：北京理工大學(xué)大學(xué)生創(chuàng)新項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN16

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