【摘要】：采用金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)外延了具有三個不同反射中心波長的AlAs/Al0.5Ga0.5As復(fù)合分布式布拉格反射鏡(DBR),利用透射電鏡、X射線衍射儀表征其結(jié)構(gòu)、厚度和組分,利用白光反射譜表征其反射譜強度和帶寬。結(jié)果表明:該復(fù)合DBR比常規(guī)DBR和兩個反射中心波長復(fù)合DBR具有更高的反射譜強度和更寬的帶寬。利用該復(fù)合DBR制備了AlGaInP發(fā)光二級管(LED),尺寸6.0mil×6.0mil(1mil=0.0254mm),并在20mA測試電流下測得其輸出光功率為3.54mW,發(fā)光效率為17.26lm/W,外量子效率為8.77%,相比常規(guī)DBR制備LED輸出光功率提高35.1%,相比兩個反射中心波長復(fù)合DBR制備LED輸出光功率提高11.3%。說明具有三個反射中心波長的復(fù)合DBR更大幅度地提升了AlGaInP發(fā)光二極管的出光效率。
[Abstract]:......
【作者單位】： 三安光電科技有限公司;
【基金】：國家重點研發(fā)計劃戰(zhàn)略性先進(jìn)電子材料重點專項(2016FYB0400600)
【分類號】：TN312.8

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本文編號：2470676