【摘要】：采用在單晶鍺基底的兩面分別設(shè)計(jì)中波紅外帶通濾光膜和中波紅外負(fù)濾光膜的方法,設(shè)計(jì)了一種光譜性能優(yōu)良的中波紅外雙通道帶通濾光片。以適當(dāng)?shù)墓に嚰夹g(shù)完成了膜層的制備,并測試了實(shí)驗(yàn)樣片的紅外透射率光譜。結(jié)果顯示,制備的中波紅外雙通道帶通濾光片的通帶透過率以及截止帶截止深度均良好。由實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析可知,鍍膜材料蒸發(fā)角的變化和各層膜厚誤差的累積,是導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)片的測試光譜在截止帶內(nèi)出現(xiàn)兩個(gè)較強(qiáng)的次峰,以及中間截止帶略微偏移的主要原因。
[Abstract]:Using the method of designing medium-wave infrared band-pass filter and medium-wave infrared negative filter on both sides of single crystal germanium substrate, a medium-wave infrared dual-channel band-pass filter with good spectral properties was designed. The films were prepared by proper technology, and the infrared transmittance spectra of the samples were measured. The results show that both the pass-band transmittance and the cut-off depth of the mid-wave infrared dual-channel bandpass filter are good. The analysis of the experimental results shows that the change of evaporation angle and the accumulation of the thickness errors of each layer are the main reasons for the two strong secondary peaks in the cut-off band and the slight deviation of the intermediate cut-off band.
【作者單位】： 西安應(yīng)用光學(xué)研究所;
【分類號】：TN215

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