發(fā)布時間：2019-03-28 08:59

【摘要】：近年來,微光學(xué)元件的制備與應(yīng)用受到人們的廣泛關(guān)注。微光學(xué)元件體積小、重量輕及制造成本低,并且易于與微機(jī)電系統(tǒng)相集成,能夠?qū)崿F(xiàn)普通光學(xué)元件難以實(shí)現(xiàn)的功能,在光纖通信、信息處理、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、激光技術(shù)、光計算等領(lǐng)域,突顯出重要的應(yīng)用價值。飛秒激光因其超短的脈沖寬度和超高的瞬時功率,能夠?qū)崿F(xiàn)超高精度的微納加工,輕松突破衍射極限。飛秒激光加工技術(shù)對材料沒有選擇性,加工過程也非常靈活,可以進(jìn)行任意復(fù)雜結(jié)構(gòu)的加工,豐富了微光學(xué)元件的制備種類。飛秒激光還能在現(xiàn)有結(jié)構(gòu)或系統(tǒng)上進(jìn)行集成加工,極大擴(kuò)展了微光學(xué)元件的應(yīng)用。簡要概述了微光學(xué)元件的優(yōu)點(diǎn)及一些常用的制備方法,同時對飛秒激光加工技術(shù)進(jìn)行了簡單概括,對近年來飛秒激光制備各種微光學(xué)元件的實(shí)驗(yàn)和應(yīng)用研究進(jìn)行了綜述,最后對微光學(xué)元件未來的研究方向進(jìn)行了預(yù)測和展望。
[Abstract]:In recent years, the fabrication and application of micro-optical elements have been paid more and more attention. Micro-optical elements are small in size, light in weight and low in manufacturing cost, and are easy to integrate with MEMS. They can realize functions that ordinary optical elements are difficult to achieve. They are used in optical fiber communication, information processing, aerospace, biomedicine, laser technology, and so on. Optical computing and other fields highlight the important application value. Because of its ultra-short pulse width and ultra-high instantaneous power, femtosecond laser can achieve ultra-high precision micro-nano machining and easily break the diffraction limit. Femtosecond laser processing technology has no selectivity to materials, and the machining process is very flexible, so it can be processed with arbitrary complex structure, which enriches the kinds of fabrication of micro-optical elements. Femtosecond laser can also be integrated into existing structures or systems, greatly expanding the application of micro-optical elements. In this paper, the advantages of micro-optical elements and some common fabrication methods are briefly summarized. Meanwhile, the processing technology of femtosecond laser is briefly summarized, and the experimental and application research on femtosecond laser fabrication of various micro-optical elements in recent years are reviewed. Finally, the future research direction of micro-optical elements is predicted and prospected.
【作者單位】： 吉林大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院;吉林大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院集成光電子學(xué)國家重點(diǎn)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室;
【分類號】：TN249

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本文編號：2448725