發(fā)布時間：2018-12-24 16:14

【摘要】：基于激光干涉的測量技術(shù)目前已在觀測測量中被廣泛應(yīng)用,測量設(shè)備也向著便攜化、智能化和集成化的方向發(fā)展。目前的激光干涉測量設(shè)備大多是利用邁克爾遜干涉儀的原理,然而,該方法通常是將干涉信息在空間域上進(jìn)行處理,對實(shí)驗(yàn)平臺搭建和測量環(huán)境的要求也較為苛刻,在工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境中運(yùn)用時易受工業(yè)設(shè)備位移時產(chǎn)生的高頻震動影響。因此,提出一種基于激光雙外差干涉的位移量精密測量系統(tǒng),利用兩組激光外差信號來構(gòu)成兩組干涉儀,探測器接收到回波拍頻信號后進(jìn)行時間域的平均與頻域解調(diào),提高測量系統(tǒng)的魯棒性,使得測量系統(tǒng)的準(zhǔn)確度達(dá)到0.01mm。
[Abstract]:The measurement technology based on laser interference has been widely used in observation and measurement, and the measuring equipment is developing towards the direction of portability, intelligence and integration. At present, most of the laser interferometric devices use the principle of Michelson interferometer. However, the method usually processes the interference information in the spatial domain, and the requirements of the experimental platform and the measuring environment are also relatively harsh. When used in industrial production environment, it is easy to be affected by the high frequency vibration caused by the displacement of industrial equipment. Therefore, a precision displacement measurement system based on laser double heterodyne interference is proposed. Two sets of laser heterodyne signals are used to form two sets of interferometers. The detector receives echo beat signals and demodulates them in time domain and frequency domain. The robustness of the measurement system is improved, and the accuracy of the measurement system reaches 0.01 mm.
【作者單位】： 西安計量技術(shù)研究院;中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所;西北大學(xué)物理學(xué)院;
【基金】：陜西省質(zhì)監(jiān)局科技計劃項目(2014KY06)
【分類號】：TN249

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本文編號：2390816