【摘要】：為了研究超聲振動(dòng)對飛秒激光微加工的影響,設(shè)計(jì)超聲輔助裝置,進(jìn)行石英光纖材料的微結(jié)構(gòu)加工試驗(yàn)。探討不同功率的超聲振動(dòng)對材料加工表面質(zhì)量及孔深的影響,明確超聲輔助飛秒激光加工的作用機(jī)理。引入超聲振動(dòng)后,光纖側(cè)面燒蝕的矩形槽壁面更為平整,殘留碎屑明顯減少,槽或孔的深度有所增加;在超聲功率為30 W時(shí),孔的錐度由7.34°減小到4.17°。結(jié)果表明,超聲振動(dòng)能有效改善材料加工表面質(zhì)量,增加加工孔的深度,提高飛秒激光的加工效率,證明超聲振動(dòng)對飛秒激光加工具有明顯的改善作用。
[Abstract]:In order to study the effect of ultrasonic vibration on femtosecond laser micromachining, an ultrasonic auxiliary device was designed to test the microstructure of quartz fiber materials. The effect of ultrasonic vibration with different power on the surface quality and hole depth of materials was discussed, and the mechanism of ultrasonic assisted femtosecond laser machining was clarified. When ultrasonic vibration is introduced, the wall of the rectangular groove ablated on the side of the fiber is more flat, the residual debris is reduced obviously, the depth of the groove or hole is increased, and the taper of the hole decreases from 7.34 擄to 4.17 擄when the ultrasonic power is 30 W. The results show that ultrasonic vibration can effectively improve the surface quality of materials, increase the depth of holes and improve the processing efficiency of femtosecond laser. It is proved that ultrasonic vibration can improve the machining efficiency of femtosecond laser.
【作者單位】： 武漢理工大學(xué)光纖傳感技術(shù)國家工程實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51175393,61475121) 湖北省自然科學(xué)基金(2014CFB260)
【分類號】：TN249

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本文編號：2375349