【摘要】：設(shè)計并制作了一種新型分布反饋(DFB)光柵激光二極管結(jié)構(gòu)。采用傳輸矩陣法模擬得到了不同光柵耦合因子、不同結(jié)構(gòu)下隨機(jī)相位對歸一化閾值增益差和性能參數(shù)分布的影響;對高于閾值增益情況下激光二極管的特性進(jìn)行了分析,結(jié)果表明隨著激光二極管偏置電流的增加,光場平坦因子和歸一化閾值增益差幾乎保持不變,激光二極管單模穩(wěn)定性好;模擬得到了光譜隨偏置電流的變化,不同偏置電流下光譜的邊模抑制比均大于40 dB。采用全息光刻技術(shù)結(jié)合普通光刻技術(shù)制備了新型DFB光柵。相比于均勻光柵激光二極管,新型DFB光柵激光二極管性能參數(shù)一致性更好、成品率更高,成品率達(dá)到80%以上。
[Abstract]:A novel distributed feedback (DFB) grating laser diode structure is designed and fabricated. The effects of different grating coupling factors and different structures on the normalized threshold gain difference and the distribution of performance parameters are simulated by using the transfer matrix method. The characteristics of laser diode above threshold gain are analyzed. The results show that the optical field flatness factor and normalized threshold gain difference are almost unchanged with the increase of bias current of laser diode, and the single-mode stability of laser diode is good. The simulation results show that the spectrum varies with the bias current, and the side mode rejection ratio of the spectrum is more than 40 dB. under different bias currents. A new type of DFB grating was fabricated by holographic lithography and ordinary lithography. Compared with the uniform grating laser diode, the new DFB grating laser diode has better consistency of performance parameters, higher yield and more than 80% yield.
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所;
【分類號】：TN31

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