【摘要】：針對飛秒激光燒蝕硅晶片微結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的等離子體光斑圖像中的噪聲及光斑亮度信號噪聲,分別采用多尺度小波閾值方法進(jìn)行去噪。首先,用CCD相機(jī)連續(xù)記錄燒蝕過程中的等離子體光斑,并轉(zhuǎn)化為序列圖像;其次,采用多尺度小波分解對等離子體光斑目標(biāo)圖像進(jìn)行小波系數(shù)提取,去除圖像中包含的噪聲干擾,再經(jīng)小波逆變換實(shí)現(xiàn)圖像的重構(gòu);再次,對濾波后的光斑圖像進(jìn)行亮度特征提取,獲得光斑序列圖像的連續(xù)亮度變化曲線;最后,對光斑序列亮度曲線再次進(jìn)行小波分解、系數(shù)提取及信號重構(gòu),使不同燒蝕區(qū)間的光斑亮度平均信噪比提高了19.74%,獲得了平滑的光斑亮度特征變化曲線。
[Abstract]:Aiming at the noise in plasma spot image and the noise of spot luminance signal produced by femtosecond laser ablation of silicon wafer, the multi-scale wavelet threshold method is used to remove noise. Firstly, the plasma spot in the ablation process is recorded continuously by CCD camera and converted into a sequence image. Secondly, the multi-scale wavelet decomposition is used to extract the wavelet coefficients of the plasma speckle target image to remove the noise interference in the image, and then the image reconstruction is realized by inverse wavelet transform. Thirdly, the continuous luminance variation curve of the filtered spot image is obtained by extracting the luminance feature of the filtered image. Finally, wavelet decomposition, coefficient extraction and signal reconstruction are carried out again for the luminance curve of spot sequence, so that the average signal-to-noise ratio of spot brightness in different ablation regions is increased by 19.74, and a smooth curve of luminance characteristic change is obtained.
【作者單位】： 華北理工大學(xué)電氣工程學(xué)院;卡爾加里大學(xué)機(jī)械及制造工程系;北京科技大學(xué)自動化學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(71601039)
【分類號】：TN249;TP391.41

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本文編號：2340436