【摘要】：為有效提高組合設(shè)備利用水平與工作效率,研究在單臂組合設(shè)備上實(shí)現(xiàn)不同種類晶圓混合加工的問題。建立獨(dú)立于具體晶圓流的單臂組合設(shè)備Petri網(wǎng)模型,該模型能準(zhǔn)確描述不同晶圓流模式下系統(tǒng)的運(yùn)行過程�；诶秸{(diào)度策略和周期調(diào)度的思想,推導(dǎo)出單臂組合設(shè)備在混合晶圓流下能形成穩(wěn)定周期性加工的條件。然后依據(jù)約束條件建立系統(tǒng)的線性規(guī)劃模型,獲得穩(wěn)態(tài)的周期調(diào)度。運(yùn)用虛擬晶圓方法實(shí)現(xiàn)所得調(diào)度,并給出調(diào)度的甘特圖。最后,以晶圓制造的數(shù)據(jù)作為算例驗(yàn)證了模型和調(diào)度的有效性。
[Abstract]:In order to effectively improve the utilization level and working efficiency of the combined equipment, the problem of realizing different kinds of wafer mixing machining on the single arm combination equipment is studied. The Petri net model of single-arm combinatorial equipment independent of specific wafer flow is established. The model can accurately describe the operation process of the system under different wafer flow modes. Based on the pull scheduling strategy and the idea of periodic scheduling, the conditions under which single-arm combinatorial equipment can form stable periodic processing under mixed wafer flow are derived. Then the linear programming model of the system is established according to the constraint conditions, and the steady periodic scheduling is obtained. The virtual wafer method is used to realize the scheduling, and the Gantt diagram of the scheduling is given. Finally, the validity of the model and scheduling is verified by using wafer manufacturing data as an example.
【作者單位】： 江西理工大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(71361014) 江西省教育廳項(xiàng)目(GJJ150673)
【分類號(hào)】：TN305

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本文編號(hào)：2276639