【摘要】：主要描述了用SU-8膠制造微流控芯片模具的方法,并在此基礎(chǔ)上成功制備微流控芯片。討論了其制備工藝流程,主要包括有前烘、中烘、光刻、顯影等因素對(duì)模具的影響,提出了一個(gè)可供參考的模具制作工藝流程,并對(duì)抗粘層工藝進(jìn)行了討論,最終成功制作出模具。研究了用澆鑄工藝制作PDMS微流控芯片的方法,利用聚焦的原理,實(shí)現(xiàn)粒徑12微米左右待檢測(cè)微球的單通和熒光檢測(cè),該芯片同時(shí)可以用于其它方面的生物檢測(cè)。
[Abstract]:The method of fabricating microfluidic chip die with SU-8 glue is described, and the microfluidic chip is successfully fabricated on this basis. This paper discusses the influence of factors such as pre-drying, moderate baking, lithography and development on the mould, and puts forward a process flow for reference, and discusses the anti-adhesive coating process. Finally, the mold was made successfully. The method of fabricating PDMS microfluidic chip by casting process is studied. The single pass and fluorescence detection of the microspheres about 12 渭 m in diameter are realized by focusing principle. The chip can be used for other biological detection at the same time.
【作者單位】： 渤海大學(xué)新能源學(xué)院;天津大學(xué)微電子學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11304020)
【分類號(hào)】：TN492

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