發(fā)布時(shí)間：2018-08-29 11:19

【摘要】：采用光刻膠熱熔法制作具有特定尺寸的微透鏡,制作的微透鏡能將微透鏡陣列技術(shù)應(yīng)用于短波1μm?3μm紅外探測器中,有效地提高探測器件的光電性能。采用AZ P4620厚光刻膠,利用紫外光刻技術(shù),對(duì)透鏡制作中的前烘、曝光和顯影、堅(jiān)膜、熱熔等工藝進(jìn)行了深入細(xì)致的實(shí)驗(yàn)研究,確定了最優(yōu)的工藝參數(shù),實(shí)現(xiàn)了球冠直徑在(5.5±0.5)μm,曲率半徑3μm的微透鏡,且透鏡有很好的均勻性和一致性,滿足近紅外探測器件的要求。
[Abstract]:Microlenses with special size are fabricated by photolithographic hot melt method. The microlens array technology can be applied to 1 渭 m ~ (3 渭 m) short wave infrared detector, which can effectively improve the photoelectric performance of the detector. By using AZ P4620 thick photoresist and UV lithography technology, the pre-drying, exposure and development, hard film and hot melt process of lens fabrication were studied in detail, and the optimum technological parameters were determined. A microlens with a spherical crown diameter of (5.5 鹵0.5) 渭 m and a curvature radius of 3 渭 m has been realized. The lens has good uniformity and consistency, and meets the requirements of near-infrared detector.
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)信息學(xué)部光電子技術(shù)省部共建教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：2017年光電子技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金(PXM2017_014204_500034)的經(jīng)費(fèi)支持
【分類號(hào)】：TN215

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本文編號(hào)：2211042