【摘要】：隨著光伏行業(yè)大規(guī)模的發(fā)展,單晶品質對發(fā)電成本的影響尤為重要,然而單晶生產行業(yè)中硅液面抖動是直拉法單晶生長過程中經常出現(xiàn)的現(xiàn)象,影響單晶的正常生長。文章分析了具體生產過程中抖動的來源及其對單晶生長的影響,并總結抑制液面抖動的方法來消除這一影響。
[Abstract]:With the large-scale development of photovoltaic industry, the effect of single crystal quality on generation cost is particularly important. However, silicon level jitter is a common phenomenon in Czochralski growth process, which affects the normal growth of single crystal. This paper analyzes the sources of jitter and its influence on the growth of single crystal in the process of production, and summarizes the methods to suppress the jitter of liquid level to eliminate this effect.
【作者單位】： 寧夏隆基硅材料有限公司;
【分類號】：TN304.12;O782

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本文編號：2204618