【摘要】：本文詳細的分析了真空多晶硅鑄錠爐工藝原理以及溫度特性,在深入研究傳統(tǒng)PID控制的基礎(chǔ)上,對其進行改進,將模糊控制理論引入到PID控制中,以提高系統(tǒng)的自動化程度。設(shè)計了以模糊PID控制為基礎(chǔ)的串級控制系統(tǒng),并在matlab環(huán)境中對該算法進行仿真。本系統(tǒng)采用PLC可編程控制器作為系統(tǒng)的下位機,對爐溫進行實時控制與信息采集,并與上位機進行數(shù)據(jù)交換,控溫算法根據(jù)爐溫的實際情況計算出合理的控制參數(shù),再將控制信息發(fā)送給執(zhí)行機構(gòu),執(zhí)行機構(gòu)通過調(diào)節(jié)可控硅的導(dǎo)通角來調(diào)節(jié)加熱功率,實現(xiàn)對爐溫的良好控制。最后,在多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)實驗中對該系統(tǒng)進行工藝實驗以驗證該系統(tǒng)的控制性能。
[Abstract]:In this paper, the process principle and temperature characteristics of vacuum polysilicon ingot furnace are analyzed in detail. On the basis of deeply studying the traditional PID control, the fuzzy control theory is introduced into the PID control to improve the automation degree of the system. A cascade control system based on fuzzy PID control is designed and simulated in matlab environment. In this system, the PLC programmable controller is used as the lower computer of the system, the furnace temperature is controlled in real time and the information is collected, and the data is exchanged with the upper computer. The temperature control algorithm calculates the reasonable control parameters according to the actual condition of the furnace temperature. Then the control information is sent to the actuator, which adjusts the heating power by adjusting the conduction angle of SCR, and realizes the good control of furnace temperature. Finally, the control performance of the system is tested in the production experiment of polysilicon ingot furnace.
【學(xué)位授予單位】：河北科技大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TP273;TN304.12

【參考文獻】

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本文編號：2161143