【摘要】：基于聲表面波(SAW)驅(qū)動機(jī)理設(shè)計(jì)并仿真了一種微混合器,制備了由4個(gè)諧振頻率為49.1 MHz的銅叉指式換能器(IDT)構(gòu)成的SAW驅(qū)動的微混合器(IDT采用剝離工藝制備,使用的基片材料為128°YX型鈮酸鋰,每個(gè)IDT有5個(gè)叉指對,周期為80μm,指條寬度為5μm,指條厚度為1.6μm),搭建了基于SAW微混合器驅(qū)動的微混合平臺,實(shí)現(xiàn)了3μL甘油與1μL墨水兩種液滴間的混合以及3μL蒸餾水液滴和平均直徑為1.5μm的紅色微粒之間的混合。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,在驅(qū)動功率為9 W、驅(qū)動頻率為49.13 MHz的電信號激勵(lì)下,SAW微混合器可實(shí)現(xiàn)液滴間以及液滴和微粒間在1 s內(nèi)的高速混合,并且液滴內(nèi)部運(yùn)動與其位于SAW微混合器的位置有關(guān)。
[Abstract]:Based on the surface acoustic wave (SAW) driving mechanism, a micro mixer is designed and simulated. The SAW driven micro mixer (IDT), which is composed of four copper cross finger transducers (IDT) with four resonant frequencies of 49.1 MHz, is fabricated by stripping process. The substrate material is 128 擄YX type lithium niobate, each IDT has five cross finger pairs, the period is 80 渭 m, the finger width is 5 渭 m, the finger thickness is 1.6 渭 m), and a micro mixing platform based on SAW micromixer is built. The mixture of 3 渭 L glycerol and 1 渭 L ink and 3 渭 L distilled water droplets and red particles with an average diameter of 1.5 渭 m were realized. The experimental results show that under the excitation of electric signal with driving power of 9 W and driving frequency of 49.13 MHz, the saw micro mixer can realize the high speed mixing between droplets and particles within 1 s. And the internal motion of the droplet is related to the location of the SAW micromixer.
【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)理學(xué)院;上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51405303) 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)協(xié)同創(chuàng)新平臺資助項(xiàng)目(3921NH166019);上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)重點(diǎn)資助項(xiàng)目(1011XQ171087)
【分類號】：TN65

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本文編號：2156271