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基于COMSOL Multiphysics的硅通孔信號傳輸性能分析

發(fā)布時(shí)間:2018-07-17 16:44
【摘要】:通過分析信號-地TSV物理結(jié)構(gòu),提出可擴(kuò)展等效電路模型,并用數(shù)學(xué)表達(dá)式表示出電容電感等電學(xué)參數(shù)。然后用多物理場耦合三維仿真軟件COMSOL Multiphysics仿真信號-地TSV三維模型,并將COMSOL Multiphysics軟件仿真分析得到的插入損耗結(jié)果和數(shù)學(xué)模型得到的結(jié)果作比較,驗(yàn)證建立的等效電路模型的準(zhǔn)確性。最后,分析信號-地TSV半徑、高度與間距對其插入損耗的影響。結(jié)果表明,信號-地TSV互連結(jié)構(gòu)的傳輸性能隨著半徑的增大變得越好,隨著其間距和高度的增加而變得越差。
[Abstract]:By analyzing the physical structure of signal-ground TSV a scalable equivalent circuit model is proposed and the electrical parameters such as capacitance inductance are expressed by mathematical expression. Then, the TSV 3D model is simulated by COMSOL Multiphysics, and the results of insertion loss obtained by simulation analysis of COMSOL Multiphysics are compared with the results obtained by mathematical model. The accuracy of the established equivalent circuit model is verified. Finally, the influence of TSV radius, height and spacing on insertion loss is analyzed. The results show that the transmission performance of the signal-ground TSV interconnection becomes better with the increase of the radius and the worse with the increase of the distance and height.
【作者單位】: 湖北工程學(xué)院新技術(shù)學(xué)院;
【基金】:湖北省公安廳自主科研項(xiàng)目(hbst2014yycx03)
【分類號】:TN405

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號:2130275

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