【摘要】：在分析石英晶片受力作用時(shí)晶片內(nèi)應(yīng)力分布的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了一種多電極新型石英力敏諧振器及信號(hào)處理電路。在室溫及大氣狀態(tài)下對(duì)設(shè)計(jì)的力敏諧振器同時(shí)進(jìn)行激勵(lì)時(shí),各對(duì)電極對(duì)應(yīng)的諧振器的力-頻特性線性度及頻率穩(wěn)定性良好。將各諧振器的頻率互作差頻,再作疊加處理后,輸出的頻率信號(hào)的力-頻系數(shù)達(dá)到2 951.8Hz/N,線性相關(guān)度為0.999 7,頻率穩(wěn)定性可達(dá)10-10數(shù)量級(jí)。
[Abstract]:A new type of quartz force sensitive resonator and signal processing circuit are designed on the basis of analyzing the stress distribution of quartz wafer. When the designed force sensitive resonator is excited simultaneously at room temperature and atmosphere, the linearity and stability of the force frequency characteristic of the resonator corresponding to each pair of electrodes are good. The frequency difference frequency of each resonator is interacted, and then superposed, the force-frequency coefficient of the output frequency signal is up to 2 951.8 Hz / N, the linear correlation is 0.999 7, and the frequency stability can reach 10-10 order of magnitude.
【作者單位】： 北京信息科技大學(xué)傳感器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;昆明學(xué)院物理科學(xué)與技術(shù)系;
【基金】：北京市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(4122030);北京市自然科學(xué)基金重點(diǎn)資助項(xiàng)目(B類KZ201511232037) 北京市教育委員會(huì)科技計(jì)劃基金資助項(xiàng)目(KM201511232022) 現(xiàn)代控制技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(北京信息科技大學(xué))基金資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN752.2

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本文編號(hào)：2124906