【摘要】：為提高壓電驅(qū)動(dòng)的大口徑快擺鏡控制精度,采用了電阻式應(yīng)變傳感器(SGS)和基于鎖定放大信號(hào)調(diào)理方法來(lái)檢測(cè)壓電執(zhí)行器微位移,該微位移檢測(cè)電路包括集成在壓電內(nèi)部的電阻式SGS,前端信號(hào)調(diào)制放大電路、帶通濾波去噪電路、相敏解調(diào)電路和低通濾波電路等,最后搭建系統(tǒng)驗(yàn)證并利用小波分解重構(gòu)的方法對(duì)微位移信號(hào)進(jìn)行噪聲分析。試驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)檢測(cè)的壓電執(zhí)行器微位移信號(hào)良好,噪聲滿足實(shí)際工程中壓電陶瓷(PZT)執(zhí)行器的24nm位置分辨率的要求。
[Abstract]:In order to improve the control accuracy of the piezoelectric actuator, a resistive strain sensor (SGS) and a lock-in amplification signal conditioning method are used to detect the micro-displacement of the piezoelectric actuator. The micro-displacement detection circuit includes resistive SGSs integrated in the piezoelectric interior, a front-end signal modulation and amplification circuit, a bandpass filter denoising circuit, a phase-sensitive demodulation circuit and a low-pass filter circuit, etc. Finally, the system is built to verify and analyze the noise of micro-displacement signal by wavelet decomposition and reconstruction. The experimental results show that the micro-displacement signal of the piezoelectric actuator detected by this system is good and the noise can meet the requirement of the 24nm position resolution of the piezoelectric actuator in practical engineering.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院大學(xué);中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所;中國(guó)科學(xué)院紅外探測(cè)與成像技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(40776100)
【分類號(hào)】：TN384

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本文編號(hào)：2124347