【摘要】：伴隨著半導體技術(shù)和電子產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,芯片的缺陷檢測技術(shù)在整個工業(yè)生產(chǎn)過程中扮演的角色也越來越重要。相比于傳統(tǒng)的人工檢測技術(shù),基于機器視覺的表貼芯片缺陷檢測技術(shù)作為一種靈活的、實時的、非接觸式的、高精度的檢測技術(shù),應用也是日益廣泛。本文主要對基于機器視覺的表貼芯片的缺陷檢測技術(shù)進行了研究,在此基礎上實現(xiàn)了對表貼芯片外觀尺寸的缺陷檢測。文中對表貼芯片圖像的預處理技術(shù)和表貼芯片的缺陷檢測技術(shù)進行了重點研究。主要工作如下:(1)使用直方圖均衡化以及改進的中值濾波算法對芯片圖像進行了增強處理。(2)通過將傳統(tǒng)的圖像邊緣檢測算法、改進的Canny邊緣檢測算法以及改進的基于蟻群的圖像邊緣檢測算法進行實驗結(jié)果對比,最后采用改進的Canny邊緣檢測算法實現(xiàn)了表貼芯片的邊緣檢測。(3)通過對基于邊緣檢測的芯片引腳寬度和間距尺寸檢測和基于二值化后的芯片引腳長度等特征參數(shù)的計算,實現(xiàn)了對表貼芯片外觀缺陷的準確檢測和識別。(4)設計了芯片缺陷檢測系統(tǒng),給出了系統(tǒng)軟硬件設計和實現(xiàn)的技術(shù)細節(jié),并在設計的軟件平臺上應用上述方法實現(xiàn)了對芯片外觀缺陷的檢測。
[Abstract]:With the rapid development of semiconductor technology and electronic industry, chip defect detection technology plays a more and more important role in the whole industrial production process. Compared with the traditional manual detection technology, the surface chip defect detection technology based on machine vision is widely used as a flexible, real-time, non-contact, high-precision detection technology. In this paper, the defect detection technology of the surface chip based on machine vision is studied, and the defect detection of the appearance size of the chip is realized. In this paper, the image preprocessing technology of surface chip and defect detection technology of surface chip are studied in detail. The main work is as follows: (1) using histogram equalization and improved median filtering algorithm to enhance the chip image. (2) by using the traditional image edge detection algorithm, The experimental results are compared between the improved Canny edge detection algorithm and the improved image edge detection algorithm based on ant colony. Finally, the improved Canny edge detection algorithm is used to realize the edge detection of the chip. (3) based on the edge detection based on the chip pin width and spacing size detection and based on binary chip pin length and other characteristic parameters calculation. It realizes the accurate detection and recognition of the appearance defects of the surface chip. (4) the chip defect detection system is designed, and the design of the hardware and software of the system and the technical details of its implementation are given. The method is used to detect the appearance defect of the chip on the designed software platform.
【學位授予單位】：西安建筑科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2017
【分類號】：TP391.41;TN407

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