本文選題：頻率選擇表面 + UV-LIGA�。� 參考：《上海交通大學(xué)》2015年碩士論文

【摘要】：頻率選擇表面(frequency selective surface,FSS)是一種周期性平面二維陣列結(jié)構(gòu),其本質(zhì)是一個(gè)空間電磁濾波器。當(dāng)電磁波與FSS相互作用時(shí),FSS會表現(xiàn)出明顯的帶通或帶阻的電磁波透射特性。FSS擁有良好的頻率選擇和極化選擇特性,能夠有效控制電磁波的傳輸與反射。隨著科技的不斷進(jìn)步與發(fā)展,頻率選擇表面已經(jīng)越來越多的應(yīng)用于微波、紅外波及可見光波段領(lǐng)域。近些年,國內(nèi)外的學(xué)者及研究機(jī)構(gòu)對FSS進(jìn)行了各種深入的研究與分析,人們對FSS各種特性的認(rèn)識也越趨完善。本文對頻率選擇表面進(jìn)行了以下的研究:利用CST MWS仿真軟件對118GHz頻率選擇表面以及183 GHz頻率選擇表面進(jìn)行仿真,研究了它們的頻率響應(yīng)特性,以及線寬、周期長度、結(jié)構(gòu)片厚度以及墊片厚度對頻率響應(yīng)曲線的影響。利用UV-LIGA加工技術(shù)對118 GHz頻率選擇表面和183 GHz頻率選擇表面進(jìn)行加工,并對樣品進(jìn)行測試。利用掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope,SEM)對樣品進(jìn)行測量,測量樣品的線寬、周期長度以及結(jié)構(gòu)片厚度。同時(shí),利用近場掃描法測試118 GHz頻率選擇表面的傳輸特性和反射特性。經(jīng)試驗(yàn)證明,在滿足指標(biāo)要求的情況下,利用UV-LIGA技術(shù)加工的樣品具有良好的尺寸特性,樣品側(cè)壁陡直,并且118 GHz頻率選擇表面樣品的線寬誤差為±0.6μm;周期長度誤差為±2μm;結(jié)構(gòu)片厚度誤差為±1μm。對于183 GHz頻率選擇表面而言,線寬誤差為±2.7μm;周期長度誤差為±2μm;結(jié)構(gòu)片厚度誤差為±1μm。
[Abstract]:Frequency selective Surface (frequency selective) is a periodic planar two-dimensional array structure, which is essentially a spatial electromagnetic filter. When the electromagnetic wave interacts with the FSS, the FSS will show obvious transmission characteristics of the band-pass or band-stop electromagnetic wave. FSS has good frequency selection and polarization selection characteristics, which can effectively control the transmission and reflection of the electromagnetic wave. With the development of science and technology, frequency-selective surface has been applied to microwave, infrared and visible light. In recent years, scholars and research institutions at home and abroad have carried out various in-depth research and analysis of FSS, and people's understanding of various characteristics of FSS is becoming more and more perfect. In this paper, the frequency selective surface is studied as follows: the 118GHz frequency selective surface and 183GHz frequency selective surface are simulated by CST MWS simulation software, and their frequency response characteristics, linewidth and period length are studied. The influence of the thickness of structure and gasket on the frequency response curve. The 118GHz frequency-selective surface and 183GHz frequency-selective surface were fabricated by UV-LIGA and the samples were tested. The sample was measured by scanning electron microscope (scanning electron), and the linewidth, cycle length and thickness of the structure were measured. At the same time, the transmission and reflection characteristics of the 118GHz frequency-selective surface are measured by near-field scanning method. The experiments show that the samples processed by UV-LIGA technology have good size characteristics and the side walls of the samples are steep. The linewidth error of 118GHz frequency selective surface sample is 鹵0.6 渭 m, the period length error is 鹵2 渭 m, and the thickness error of structure chip is 鹵1 渭 m. For the 183GHz frequency-selective surface, the linewidth error is 鹵2.7 渭 m, the periodic length error is 鹵2 渭 m, and the thickness error is 鹵1 渭 m.
【學(xué)位授予單位】：上海交通大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TN713

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