本文選題：低溫共燒陶瓷 + 階梯阻抗諧振器��； 參考：《昆明理工大學》2017年碩士論文

【摘要】：隨著通信、電子等領域的飛速發(fā)展,小型化、低成本、高性能的電子器件越來越成為研發(fā)的熱點,尤其是在射頻收發(fā)系統(tǒng)中,濾波是不可缺少的環(huán)節(jié),濾波器的更高性能和更小尺寸成為新的設計方向,傳統(tǒng)工藝的濾波器并不能兼?zhèn)涓叩臑V波器性能和小的器件尺寸,而低溫共燒陶瓷技術(shù)的不斷發(fā)展,為兩者兼?zhèn)涞臑V波器設計帶來可能。本文采用低溫共燒陶瓷技術(shù)進行六階帶通濾波器的設計,采用階梯阻抗諧振器結(jié)構(gòu)實現(xiàn)靈活設計,實現(xiàn)了 S波段的高性能、高抑制的帶通濾波器的設計,濾波器的整體尺寸僅為6.8mm×4.2mm× 1.5mm。濾波器作為THz設備必不可少的電子器件,對其進行研究和設計具有重大的意義。本文采用基片集成波導結(jié)構(gòu)進行了 THz帶通濾波器的設計,采用硅基垂直通孔技術(shù)進行通孔的制作,保證了通孔的孔徑精度,抑制了 THz濾波器中心頻率的漂移,結(jié)合集成電路的3D堆疊技術(shù),進行基片集成波導諧振腔的立體化堆疊,滿足濾波器的小型化需求。
[Abstract]:With the rapid development of communication, electronics and other fields, miniaturization, low cost and high performance electronic devices have become a hot spot in the research and development, especially in RF transceiver systems, filtering is an indispensable link. The higher performance and smaller size of the filter become the new design direction. The traditional process filter can not have the high filter performance and the small device size, but the low temperature co-fired ceramic technology develops unceasingly. It is possible to design both filters. In this paper, the sixth order band-pass filter is designed by using low temperature co-fired ceramic technology, and the flexible design is realized by using step impedance resonator structure. The design of high performance and high suppression band-pass filter in S-band is realized. The overall size of the filter is only 6.8mm 脳 4.2mm 脳 1.5mm. As an indispensable electronic device in THz equipment, it is of great significance to study and design the filter. In this paper, the THz bandpass filter is designed with the substrate integrated waveguide structure, and the through hole is fabricated by using the silicon based vertical through hole technology, which ensures the aperture accuracy of the through hole and restrains the drift of the center frequency of the THz filter. Combined with 3D stacking technology of integrated circuits, three-dimensional stacking of substrates integrated waveguide resonators is carried out to meet the needs of filter miniaturization.
【學位授予單位】：昆明理工大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2017
【分類號】：TN713.5

【參考文獻】

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本文編號：2038496