本文選題：GaN基寬禁帶半導(dǎo)體 + 外延生長(zhǎng)��； 參考：《物理學(xué)進(jìn)展》2017年03期

【摘要】：GaN基寬禁帶半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)具有非常強(qiáng)的極化效應(yīng)、高飽和電子漂移速度、高擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高于室溫的居里轉(zhuǎn)變溫度、和較強(qiáng)的自旋軌道耦合效應(yīng)等優(yōu)越的物理性質(zhì),是發(fā)展高功率微波射頻器件不可替代的材料體系,也是發(fā)展高效節(jié)能功率電子器件的主要材料體系之一,在半導(dǎo)體自旋電子學(xué)器件上亦有潛在的應(yīng)用價(jià)值。GaN基異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料、物理與器件研究已成為當(dāng)前國(guó)際上半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的前沿領(lǐng)域和研究熱點(diǎn)。本文從GaN基異質(zhì)結(jié)構(gòu)的外延生長(zhǎng)、物理性質(zhì)及其電子器件應(yīng)用三個(gè)方面對(duì)國(guó)內(nèi)外該領(lǐng)域近年來(lái)的研究進(jìn)展進(jìn)行了系統(tǒng)的介紹和評(píng)述,并簡(jiǎn)要介紹了北京大學(xué)在該領(lǐng)域的研究進(jìn)展。
[Abstract]:GaN-based wide band gap semiconductor heterostructures have excellent physical properties such as very strong polarization effect, high saturated electron drift velocity, high breakdown field strength, higher Curie transition temperature at room temperature, and stronger spin-orbit coupling effect. It is an irreplaceable material system for the development of high power microwave RF devices. It is also one of the main material systems for the development of high efficiency and energy saving power electronic devices. It also has potential application value in semiconductor spin electronics devices. The research of physics and devices has become the frontier field and research hotspot of semiconductor science and technology in the world. In this paper, the recent research progress in GaN-based heterostructure in recent years is introduced and reviewed from the aspects of epitaxial growth, physical properties and electronic device applications. The research progress of Peking University in this field is briefly introduced.
【作者單位】： 北京大學(xué)寬禁帶半導(dǎo)體研究中心;北京大學(xué)人工微結(jié)構(gòu)和介觀物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;北京大學(xué)信息與科學(xué)技術(shù)學(xué)院微納電子學(xué)系;
【基金】：國(guó)家科技重點(diǎn)專項(xiàng)(2016YFB0400100、2016YFB0400200) 國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目(2013CB921901、2013CB632804) 國(guó)家自然科學(xué)基金(11634002、61521004、61361166007、61376095、61522401、61574006、61204099) 北京市科技計(jì)劃項(xiàng)目(Z151100003315002)對(duì)本文涉及工作的大力支持
【分類號(hào)】：TN304

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本文編號(hào)：1994135