本文選題：PLZT + 光波導(dǎo)薄膜��； 參考：《東南大學(xué)》2016年碩士論文

【摘要】：基于PLZT的波導(dǎo)電光器件具有驅(qū)動電壓小、功耗低、偏振不敏感等優(yōu)點,成為集成光學(xué)領(lǐng)域的研究熱點。作為PLZT波導(dǎo)電光器件的核心,PLZT光波導(dǎo)薄膜的質(zhì)量將直接影響其器件的性能。具有較低傳輸損耗的PLZT光波導(dǎo)薄膜的制備具有重要意義。本文采用溶膠-凝膠(Sol-Gel)法,針對PLZT光波導(dǎo)薄膜的制備工藝進行了研究。首先,基于當(dāng)前普遍采用的金屬醇鹽法,對PLZT光波導(dǎo)薄膜的制備工藝進行了研究。針對前驅(qū)體種類、環(huán)境濕度、熱處理工藝等因素的確定進行了詳細(xì)的討論,采用優(yōu)化的工藝條件獲得了表面均勻平整、致密性較高的雙組分PLZT光波導(dǎo)薄膜。由此制作了PLZT脊形光波導(dǎo),并實現(xiàn)了波導(dǎo)通光。其次,為了進一步降低成本,我們采用無機鹽取代金屬醇鹽作為溶膠的主要原料,對PLZT光波導(dǎo)薄膜的制備工藝進行了研究。針對溶膠體系、環(huán)境濕度、熱處理工藝等條件進行了優(yōu)化。采用優(yōu)化的工藝條件獲得了厚度4.6μm左右的雙組分PLZT光波導(dǎo)薄膜,表面均勻平整,致密性較好,從而為PLZT光波導(dǎo)薄膜的低成本制備提供了依據(jù)。
[Abstract]:Waveguide electro-optic devices based on PLZT have the advantages of low driving voltage, low power consumption, low polarization sensitivity and so on, so they have become the research hotspot in the field of integrated optics. The quality of PLZT waveguide film, which is the core of PLZT waveguide electro-optic device, will directly affect the performance of the device. The preparation of PLZT optical waveguide films with low transmission loss is of great significance. In this paper, the preparation process of PLZT optical waveguide thin films was studied by sol-gel method. Firstly, the fabrication process of PLZT optical waveguide thin films is studied based on the metal alkoxide method. The determination of precursor type, environmental humidity, heat treatment process and other factors were discussed in detail. The two-component PLZT optical waveguide thin films with uniform and smooth surface and high density were obtained by optimizing the process conditions. The PLZT ridged optical waveguide is fabricated and the waveguide through light is realized. Secondly, in order to further reduce the cost, the preparation process of PLZT optical waveguide films was studied by using inorganic salts instead of metal alcohols as the main raw materials of the sol. The conditions of sol system, environmental humidity and heat treatment were optimized. Two-component PLZT optical waveguide thin films with a thickness of 4.6 渭 m were obtained by optimizing the process conditions. The surface of the films was even and smooth, which provided a basis for the low cost preparation of PLZT optical waveguide films.
【學(xué)位授予單位】：東南大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN252;O484.1

【參考文獻】

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本文編號：1991088