本文選題：半導(dǎo)體制造 + 生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)��； 參考：《電子科技大學(xué)》2015年碩士論文

【摘要】：最近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在中國迅猛發(fā)展,其生產(chǎn)規(guī)模不斷地?cái)U(kuò)大,制造工藝也日益復(fù)雜。半導(dǎo)體市場以其技術(shù)含量高、制造工藝精細(xì)、原本材料成本高、信息交流速度快,產(chǎn)品生產(chǎn)周期短的特征,使其競爭相當(dāng)激烈。由于半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜和專業(yè)性很強(qiáng),所以半導(dǎo)體制造環(huán)境迫切需要能夠快速響應(yīng)生產(chǎn)線實(shí)際狀態(tài)的調(diào)度方法,參考螞蟻生態(tài)系統(tǒng)中個(gè)體螞蟻間接通訊實(shí)現(xiàn)群體優(yōu)化的特征,將若干生產(chǎn)因素切割成獨(dú)立信息素,再根據(jù)半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線的機(jī)臺(tái)設(shè)備特性,給出了模仿信息素機(jī)制的半導(dǎo)體晶圓廠生產(chǎn)線動(dòng)態(tài)派工規(guī)則。該規(guī)則同時(shí)考慮了批加工機(jī)臺(tái)設(shè)備和非批加工機(jī)臺(tái)設(shè)備的工件動(dòng)態(tài)派工,具有能夠改善整條半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線的能力。半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)是非常典型的大規(guī)模復(fù)雜重入型制造系統(tǒng)。要解決全局生產(chǎn)調(diào)度優(yōu)化及并且兼顧各區(qū)派工優(yōu)化的實(shí)際問題,就需要整合具時(shí)變特征的多目標(biāo)生產(chǎn)調(diào)度方法及區(qū)域派工策略,從而建立起來一個(gè)高效率的時(shí)變多目標(biāo)的生產(chǎn)控制體系。從我國當(dāng)前半導(dǎo)體晶圓制造企業(yè)實(shí)際的生產(chǎn)調(diào)度的角度出發(fā),以典型的瓶頸區(qū)域光刻機(jī)臺(tái)為例,根據(jù)系統(tǒng)仿真方法以及模糊控制理論,為在區(qū)域內(nèi)運(yùn)行實(shí)時(shí)派工和兼顧全局生產(chǎn)調(diào)度優(yōu)化的類似復(fù)雜的問題提供了很好解決方法。該派工方法是除了在求解速度和優(yōu)化質(zhì)量二者之間取得平衡外,很好的實(shí)現(xiàn)了全局以及兼顧部分重要區(qū)域優(yōu)化的效果,為實(shí)現(xiàn)科學(xué)生產(chǎn)控制、調(diào)度與派工提供了有效的策略和方法。根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)線模型的仿真結(jié)果表明,與生產(chǎn)線上當(dāng)前使用的調(diào)度規(guī)則相比,該動(dòng)態(tài)派工規(guī)則能夠更好的幫組我們改善半導(dǎo)體生產(chǎn)線性能,獲得較高的產(chǎn)量和準(zhǔn)時(shí)交貨率,以及較低的生產(chǎn)周期。本文在充分了解及分析國內(nèi)外半導(dǎo)體及實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)的發(fā)展?fàn)顩r,提出了一套實(shí)時(shí)派工系統(tǒng)系統(tǒng)整合的方案和并測試運(yùn)行,希望能夠有效地指導(dǎo)工廠的生產(chǎn)控制,同時(shí)提高了工廠及時(shí)生產(chǎn)能力、改善了物料的流通,提高生產(chǎn)效率,以適應(yīng)公司發(fā)展的需要。
[Abstract]:In recent years, the semiconductor industry has developed rapidly in China, its production scale is expanding and its manufacturing process is increasingly complex. The semiconductor market has the characteristics of high technology content, fine manufacturing process, high cost of material, rapid information exchange and short production cycle of the product, which makes the semiconductor manufacturing process complicated. And the professionalism is very strong, so the semiconductor manufacturing environment urgently needs the scheduling method that can quickly respond to the actual state of the production line. It can refer to the characteristics of the colony optimization by the indirect communication of the individual ants in the ant ecosystem, cut several production factors into the independent pheromone, and then according to the characteristics of the equipment of the semiconductor manufacturing line. The dynamic dispatching rule of the semiconductor wafer factory production line imitates the pheromone mechanism. The rule also takes into account the work-piece dynamic assignment of the batch machine and the non batch machine equipment, and has the ability to improve the whole semiconductor manufacturing line. The semiconductor wafer manufacturing system is a very typical large-scale complex reentry system. In order to solve the optimization of global production scheduling and to take account of the actual problems of optimizing the work in each area, it is necessary to integrate the multi target production scheduling method with time-varying characteristics and the regional dispatching strategy, thus establishing an efficient and time-varying multi target production control system. From the point of view of production scheduling, a typical bottleneck area photolithography platform is taken as an example. According to the system simulation method and fuzzy control theory, a good solution to similar complex problems in the operation of real time dispatching in the region and taking into account the optimization of global production scheduling is provided. This method is the two one in addition to the speed and the quality of the optimization. To achieve the balance, the overall situation and the effect of some important regional optimization are well realized, and the effective strategies and methods are provided for the realization of scientific production control, scheduling and dispatching. The simulation results of the actual production line model show that the dynamic dispatching rule can be more than the scheduling rules currently used in the production line. A good group to improve the performance of the semiconductor production line, obtain higher production and on time delivery rate, and lower production cycle. In this paper, we have fully understood and analyzed the development of semiconductor and real-time dispatching systems at home and abroad, and proposed a set of real-time system integration scheme and test operation, hoping to be effective. The production control of the pilot plant also improves the timely production capacity of the factory, improves the circulation of materials, and improves the production efficiency to meet the needs of the development of the company.
【學(xué)位授予單位】：電子科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TP311.52;TN305

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本文編號(hào)：1936268