本文選題：大面積納米壓印 + 揭開式脫模��； 參考：《中國機械工程》2017年04期

【摘要】：針對大面積納米壓印脫模工藝,開展了揭開式脫模機理和規(guī)律的研究�；诮缑骛じ侥芾碚�,建立了氣體輔助揭開式脫模力預估模型;基于應(yīng)變能法和脫模過程中能量守恒定律,建立了氣體輔助揭開式脫模臨界脫模速度模型。利用ABAQUS工程數(shù)值模擬軟件,分析得到納米壓印工藝參數(shù)(脫模力、脫模角度、脫模速度)對揭開式脫模的影響規(guī)律。
[Abstract]:In view of the large area nano-imprint demoulding process, the mechanism and law of open-type demoulding have been studied. Based on the theory of interfacial adhesion energy, the model of gas assisted open demoulding force prediction is established, and based on the strain energy method and the law of conservation of energy in the process of demoulding, the critical demoulding speed model of gas assisted open demoulding is established. By using the ABAQUS engineering numerical simulation software, the influence of the process parameters (demoulding force, demoulding angle and demoulding speed) on the unclamped demoulding is analyzed.
【作者單位】： 青島理工大學納米制造與納光電子實驗室;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(91023023,51375250) 青島市創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新領(lǐng)軍人才計劃資助項目(13-CX-18)
【分類號】：TN305

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本文編號：1913842