本文選題：Zernike多項式 + 矩形孔徑��； 參考：《光電工程》2016年12期

【摘要】：折反式深紫外光刻物鏡采用反射鏡為主動自由曲面,補償系統(tǒng)熱像差。一些物鏡系統(tǒng)要求反射鏡的通光孔徑為矩形。出于描述反射鏡主動變形的目的,需要采用矩形區(qū)域正交的多項式擬合變形數(shù)據(jù)。高精度的擬合要求需要獲得高階的多項式表達式。本文根據(jù)正交多項式的性質(zhì),推導(dǎo)了矩形正交多項式的通式并列出前36項多項式的表達式。應(yīng)用該多項式對主動自由曲面的變形數(shù)據(jù)進行擬合。結(jié)果表明,變形均方根值(RMS)在2 nm~5 nm范圍內(nèi),最小擬合殘差可達0.024 nm。根據(jù)擬合殘差面形的特點,可以對主動自由曲面的結(jié)構(gòu)設(shè)計改進。
[Abstract]:The reflector is used as the active free surface to compensate the thermal aberration of the system. Some objective systems require the aperture of the reflector to be rectangular. For the purpose of describing the active deformation of the mirror, the orthogonal polynomial of rectangular region should be used to fit the deformation data. High-order polynomial expressions are required for high-precision fitting. In this paper, according to the properties of orthogonal polynomials, the general expressions of rectangular orthogonal polynomials are derived and the expressions of the first 36 polynomials are listed. The polynomial is used to fit the deformation data of active free surface. The results show that the minimum fitting residuals can reach 0.024 nm in the range of 2 nm~5 nm. According to the feature of fitting residual surface, the structural design of active free surface can be improved.
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所;
【分類號】：TN305.7

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本文編號：1889420