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大直徑鍺單晶制備工藝研究及其指標(biāo)分析

發(fā)布時間:2018-05-11 19:24

  本文選題:直拉法 + 鍺單晶 ; 參考:《云南冶金》2016年06期


【摘要】:采用直拉法(Czochralski method)生成了直徑為100 mm、200 mm和300 mm的N型紅外用鍺單晶,研究了拉晶工藝參數(shù)對拉晶的影響,討論了拉晶速度、成品率和單位質(zhì)量鍺單晶電耗與單晶直徑的關(guān)系,并對不同直徑單晶的晶帽差異進(jìn)行分析。
[Abstract]:N type infrared germanium single crystals with diameters of 100mm ~ 200mm and 300mm were produced by Czochralski method. The effects of the process parameters on the crystal drawing were studied. The relationship between the crystal pulling speed, the rate of finished product and the power consumption per unit mass of GE single crystal was discussed. The difference of the cap of single crystals with different diameters was analyzed.
【作者單位】: 昆明云鍺高新技術(shù)有限公司;
【基金】:昆明市科技計劃項目,大直徑(300-320mm)紅外級鍺單晶產(chǎn)品開發(fā)(編號:2015-1-H-00583)
【分類號】:TN304.11

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號:1875263

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