本文選題：正交偏振 + 頻率分裂��； 參考：《應(yīng)用光學》2017年02期

【摘要】：提出一種基于正交偏振雙縱模的氦氖激光器納米測尺系統(tǒng),將雙折射元件插入He-Ne激光器諧振腔內(nèi)產(chǎn)生頻率分裂效應(yīng),使激光器變成了頻差可調(diào)的雙頻激光器。運用頻率分裂、模競爭、雙縱模功率調(diào)諧等激光物理效應(yīng)和設(shè)定浮動閾值,研制了新型的激光器納米測尺。以激光波長為尺子,具有可溯源性,在沒有任何電細分的條件下達到了納米量級的分辨率,與激光干涉儀的比對實驗表明,該系統(tǒng)的分辨率為79nm,量程為15mm,線性度為5.4×10~(-5),標準差為380nm。
[Abstract]:A He-Ne laser nanometer system based on orthogonal polarization dual longitudinal mode is proposed. The birefringent element is inserted into the resonator of He-Ne laser to produce frequency splitting effect, which makes the laser become a dual-frequency laser with adjustable frequency difference. Based on the laser physical effects such as frequency splitting, mode competition, dual longitudinal mode power tuning and setting floating threshold, a new type of laser nanometer has been developed. With the laser wavelength as the ruler, the system has traceability and reaches nanometer resolution without any electrical subdivision. The comparison experiment with the laser interferometer shows that the system has a resolution of 79 nm, a measuring range of 15 mm, a linearity of 5.4 脳 10 ~ (-1) -5 ~ (-1) and a standard deviation of 380 nm.
【作者單位】： 南通大學機械工程學院;北京航空航天大學儀器科學與光電工程學院;
【基金】：國家自然科學基金(51375262,61475082) 國家重大儀器專項(2011YQ04013603) 北京市科委項目(Z151100002415027)
【分類號】：TN249

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本文編號：1874925