發(fā)布時(shí)間：2018-05-08 04:06

  本文選題：硅微通道板 + 化學(xué)機(jī)械拋光��； 參考：《長春理工大學(xué)》2015年碩士論文

【摘要】：近些年來以硅材料為基礎(chǔ)制作微通道板已經(jīng)成為國內(nèi)外研究的熱點(diǎn),硅微通道板相相對于傳統(tǒng)工藝的微通道板具有更多優(yōu)點(diǎn),比如高分辨率、高深寬比、高電子增益、低功耗等,被廣泛的應(yīng)用于離子探測、微光夜視等領(lǐng)域。本文通過實(shí)驗(yàn)研究的方法,在硅微通道板制備工藝過程中,對化學(xué)機(jī)械拋光和硅微通道結(jié)構(gòu)整形技術(shù)進(jìn)行了優(yōu)化與改進(jìn),其中包括以下幾個(gè)方面:(1)利用真空填蠟的方法實(shí)現(xiàn)對硅微通道陣列結(jié)構(gòu)孔道的保護(hù),并優(yōu)化了化學(xué)機(jī)械拋光的工藝與去蠟清洗工藝,實(shí)現(xiàn)了對硅微通道板的化學(xué)機(jī)械拋光。(2)研究了硅微通道陣列結(jié)構(gòu)整形的方法與實(shí)驗(yàn)條件,并優(yōu)化實(shí)驗(yàn)工藝條件,制備出正方形孔形的硅微通道陣列結(jié)構(gòu)。(3)利用化學(xué)機(jī)械拋光的方法,對硅微通道陣列結(jié)構(gòu)等徑區(qū)域進(jìn)行研究,測得等徑區(qū)域所占比重,并優(yōu)化整形實(shí)驗(yàn)條件獲得更高比重等徑區(qū)域的硅微通道陣列結(jié)構(gòu)。
[Abstract]:In recent years, fabricating microchannel plate based on silicon material has become a hot topic at home and abroad. Compared with traditional microchannel plate, silicon microchannel plate has more advantages, such as high resolution, high aspect ratio, high electron gain. Low power consumption is widely used in ion detection, low-light night vision and other fields. In this paper, chemical and mechanical polishing and silicon microchannel structure shaping technology are optimized and improved in the process of fabrication of silicon microchannel plate by means of experimental research. This includes the following aspects: 1) using vacuum wax filling method to protect silicon microchannel array structure, and optimizing the chemical mechanical polishing process and dewaxing cleaning process. The methods and experimental conditions of silicon microchannel array structure shaping are studied, and the experimental process conditions are optimized. The silicon microchannel array structure with square pore shape was prepared. The equal diameter region of silicon microchannel array structure was studied by chemical mechanical polishing method, and the proportion of equal diameter region was measured. The structure of silicon microchannel array with higher specific gravity and equal diameter was obtained by optimizing the shaping experiment conditions.
【學(xué)位授予單位】：長春理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號】：TN305.2

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本文編號：1859871