本文選題：nc-Si/SiO多層膜 + 多孔硅納米線　； 參考：《南京大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué))》2017年03期

【摘要】：分別采用等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)和金屬輔助化學(xué)蝕刻的方法制備了納米硅/二氧化硅(nc-Si/SiO_2)多層膜和多孔硅納米線(Si NW)兩種含氧的硅基材料.借助透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡對樣品的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征,在此基礎(chǔ)上,利用穩(wěn)態(tài)和時間分辨熒光光譜儀對兩種材料的熒光特性進(jìn)行測量.實驗結(jié)果表明nc-Si的尺寸越小,多孔Si NW內(nèi)的孔洞越多,樣品的發(fā)光越強,但是發(fā)光峰不發(fā)生移動.在波長為355nm,脈寬為6ns的激光激發(fā)下,兩種材料都具有微秒(μs)的熒光壽命,對應(yīng)于載流子從與氧相關(guān)的局域態(tài)發(fā)生輻射復(fù)合的過程.將光致發(fā)光(PL)強度的增強以及熒光壽命的增大歸因于樣品內(nèi)輻射復(fù)合中心的增多.同時,在波長為375nm,脈寬為75ps的激光激發(fā)下,兩種樣品在納秒(ns)范圍內(nèi)均沒有檢測到熒光衰減信號.
[Abstract]:Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique and metal-assisted chemical etching were used to fabricate two kinds of oxygen-containing silicon based materials: nanocrystalline silicon / silicon dioxide nc-Si / SiO _ 2 multilayer film and porous silicon nanowire Si _ (NW). The microstructure of the samples was characterized by transmission electron microscope (TEM) and scanning electron microscope (SEM), and the fluorescence characteristics of the two materials were measured by steady-state and time-resolved fluorescence spectrometer. The experimental results show that the smaller the size of nc-Si, the more pores in porous Si NW, the stronger the luminescence of the sample, but the luminescence peak does not move. Under the excitation of a laser with a wavelength of 355nm and a pulse width of 6ns, both materials have a fluorescence lifetime of microsecond (渭 s), which corresponds to the recombination of carriers from a local state related to oxygen. The enhancement of photoluminescence (PL) intensity and the increase of fluorescence lifetime are attributed to the increase of radiation recombination centers in the samples. At the same time, no fluorescence attenuation signal was detected in the nanosecond range of the two samples under laser excitation at a wavelength of 375 nm and pulse width of 75ps.
【作者單位】： 鄭州輕工業(yè)學(xué)院電氣信息工程學(xué)院;江蘇科技大學(xué)數(shù)理學(xué)院;
【基金】：鄭州輕工業(yè)學(xué)院博士科研基金(2014BSJJ041) 南京大學(xué)固體微結(jié)構(gòu)物理實驗室第二十八批開放課題批準(zhǔn)項目(M28030) 河南省基礎(chǔ)與前沿技術(shù)研究計劃(152300410130)
【分類號】：TN304

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本文編號：1813764