本文選題：激光制造 + 光纖激光器��； 參考：《中國激光》2017年01期

【摘要】：搭建了中心波長為1064nm的光纖激光器裝置。全保偏光纖結(jié)構(gòu)的鎖模脈沖種子源結(jié)合選頻單元和全光纖放大器,實(shí)現(xiàn)了重復(fù)頻率連續(xù)可調(diào)、脈沖串中脈沖數(shù)可選、微焦量級(jí)單脈沖能量的皮秒激光輸出。通過優(yōu)化選取激光器的輸出參數(shù),對厚度為110μm的藍(lán)寶石晶圓進(jìn)行了切片。觀察多種激光參數(shù)下切片后的微觀形貌,發(fā)現(xiàn)單脈沖能量、脈沖串的脈沖數(shù)以及光束的光斑圓度會(huì)顯著影響切割效果。在重復(fù)頻率100kHz、脈沖串內(nèi)7脈沖、光斑圓度大于97%、平均功率0.37 W、劃切速度600mm/s時(shí),芯片外觀最佳,良品率高達(dá)99.58%。
[Abstract]:A fiber laser device with center wavelength of 1064nm is built. The mode-locked pulse seed source with all polarization-maintaining fiber structure combines the frequency selection unit and the all-fiber amplifier to realize the picosecond laser output with the repetition rate continuously adjustable, the number of pulses in the pulse train selected, and the order of microfocal single pulse energy. The sapphire wafer with a thickness of 110 渭 m is sliced by optimizing the output parameters of the laser. It is found that the single pulse energy, the number of pulses and the roundness of the laser beam have a significant effect on the cutting effect. When the repetition rate is 100 kHz, the pulse train is 7 pulses, the spot roundness is greater than 97, the average power is 0.37 W, and the cutting speed is 600mm/s, the chip has the best appearance and the rate of good product is up to 99.58%.
【作者單位】： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院;華東師范大學(xué)精密光譜科學(xué)與技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2012YQ150092) 國家自然科學(xué)基金(11404211) 上海市自然科學(xué)基金(13ZR1458100)
【分類號(hào)】：TQ164;TN249

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本文編號(hào)：1799968