發(fā)布時間：2018-04-01 16:33

  本文選題：CBCM　切入點：寄生電容測量　出處：《浙江大學》2017年碩士論文

【摘要】：基于充放電的電容測量(Charge-based Capacitance Measurement,CBCM)是目前對片上寄生電容進行測量的最精確而有效的方法�；贑BCM方法本文提出了兩種改進型的測量方法。一種是自微分(Self-Differential,SD)CBCM方法,用于單個微分電容,如MOSFET柵電容的精確測量。這種方法有兩個優(yōu)點,一是采用了一種新提出的自微分的測試步驟來消除測量過程中的系統(tǒng)誤差,二是可以工作于超高頻率(500MHz以上),從而大大減小了隨機誤差。因此相比于之前的CBCM方法,該方法能提高數(shù)十倍的測量精度。另一種是多通道(Multi-Channel,MC)CBCM,用于MOSFET各部分寄生電容的精確提取分離。成功分離提取MOSFET柵源電容、柵漏電容、柵對襯底電容、源對襯底電容、漏對襯底電容等寄生電容,并且可以測量MOSFET各種工作區(qū)域的寄生電容,從截止區(qū)到放大區(qū)到飽和區(qū)。測量精度達到亞飛法(小于10-15F)級別,這也是首次有研究工作能以這樣的精度做這么廣泛的片上電容測量工作。兩種CBCM方法都以陣列的形式在GSMC0.18μm工藝上實現(xiàn),通過對多個不同待測器件的批量測量,我們的測量方法的可靠性可以得到驗證。
[Abstract]:Charge-based Capacitance Measurement method (CBCM) is the most accurate and effective method to measure parasitic capacitance on chip. Based on CBCM method, two improved methods are proposed in this paper. For accurate measurement of single differential capacitance, such as MOSFET gate capacitance, this method has two advantages: first, a new self-differential test step is proposed to eliminate the systematic errors in the measurement process. The second is that the random error can be greatly reduced by working at or above 500MHz at ultra-high frequency. Therefore, compared with the previous CBCM method, The method can improve the measurement accuracy by dozens of times. The other is the multi-channel multi-channel channel channeler MCCBCM, which is used for the accurate extraction and separation of parasitic capacitors in various parts of MOSFET. The successful separation and extraction of MOSFET gate source capacitance, gate leakage capacitance, gate to substrate capacitance, source-to-substrate capacitance, Parasitic capacitance, such as leakage capacitance to substrate, and can measure parasitic capacitance in various working regions of MOSFET, from cutoff region to amplification region to saturation region. The accuracy of measurement reaches the level of subfly method (less than 10-15F). This is the first time that research work has been done to measure the capacitance on a chip with such precision. Both CBCM methods are implemented in GSMC0.18 渭 m process in the form of arrays, and are measured in batches of many different devices to be tested. The reliability of our method of measurement can be verified.
【學位授予單位】：浙江大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2017
【分類號】：TN386

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本文編號：1696342