利用納米球提高紅外波長(zhǎng)上轉(zhuǎn)換探測(cè)器效率
發(fā)布時(shí)間：2018-03-30 05:06
本文選題：波長(zhǎng)上轉(zhuǎn)換 切入點(diǎn)：納米球?qū)?/strong> 出處：《物理學(xué)報(bào)》2017年18期
【摘要】：在紅外波長(zhǎng)上轉(zhuǎn)換探測(cè)器氮化硅(SiN_x)鈍化層制作單層六角密排的二氧化硅(SiO_2)納米球陣列,以提高紅外波長(zhǎng)上轉(zhuǎn)換探測(cè)器的整體效率.采用自組裝的方法在器件鈍化層上制備了直徑分別約為300,450,750和1000 nm的SiO_2納米球,并與無表面微納結(jié)構(gòu)器件進(jìn)行對(duì)比測(cè)試.結(jié)果表明:鈍化層附著SiO_2納米球能有效地提高紅外波長(zhǎng)上轉(zhuǎn)換器的光提取效率;當(dāng)SiO_2納米球直徑為750 nm時(shí)的光提取效率最優(yōu),是無表面微納結(jié)構(gòu)器件的2.6倍,可實(shí)現(xiàn)低成本制作高效率紅外波長(zhǎng)上轉(zhuǎn)換探測(cè)器.
[Abstract]:Fabrication of single-layer hexagonal SiO-2) nanospheres array with SiNX passivating layer of infrared wavelength up-conversion detector SiNX, In order to improve the overall efficiency of the infrared wavelength up-conversion detector, SiO_2 nanospheres with diameters of about 300450750 nm and 1000 nm were prepared on the passivated layer by self-assembly method. The results show that the passivation layer attached to the SiO_2 nanospheres can effectively improve the optical extraction efficiency of the infrared wavelength up-converter, and the optical extraction efficiency is optimal when the diameter of the SiO_2 nanospheres is 750nm. It is 2.6 times as high as the non-surface micro / nano structure device. It can be used to fabricate high efficiency infrared wavelength up-conversion detector at low cost.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;長(zhǎng)春理工大學(xué)電子信息工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):11474037,11474041)資助的課題~~
【分類號(hào)】：TN215
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，本文編號(hào)：1684465
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