高功率固體激光器中大口徑光學(xué)器件波前誤差的建模及控制方法
本文選題:激光器 切入點:高功率固體激光器 出處:《光學(xué)學(xué)報》2017年07期
【摘要】:從慣性約束聚變系統(tǒng)高功率固體激光驅(qū)動器中具有典型意義的大口徑激光傳輸反射鏡的裝配結(jié)構(gòu)及其面形精度特點出發(fā),對其波前誤差進行了精細化建模分析,分別研究了粗糙度、紋波度和輪廓度的波前誤差模型。在此基礎(chǔ)上,進一步針對如何在裝校過程中將裝配應(yīng)力產(chǎn)生的波前誤差控制在合理范圍內(nèi)的問題,提出了方均根梯度與峰谷值相結(jié)合的波前誤差評價和控制方法,并通過實驗驗證了其可行性,以期為我國神光-III主機裝置大口徑反射鏡裝校過程中波前誤差控制提供科學(xué)指導(dǎo)方法。
[Abstract]:Based on the assembly structure and surface precision characteristics of large aperture laser transmission mirror in high power solid-state laser driver of inertial confinement fusion system, the wave front error is modeled and analyzed in detail. The wave-front error models of roughness, ripple degree and contour are studied respectively. On this basis, the problem of how to control the wave-front error caused by assembly stress in a reasonable range in the course of assembling and calibrating is discussed. A method to evaluate and control the wavefront error by combining the square root gradient with the peak and valley value is proposed, and the feasibility of the method is verified by experiments. The aim is to provide a scientific guidance method for the control of wavefront error in the process of large aperture mirror mounting and calibration of the Shenguang-III mainframe device in China.
【作者單位】: 清華大學(xué)機械工程系;
【基金】:國家自然科學(xué)基金(51575310)
【分類號】:TN248.1
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本文編號:1655006
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