本文選題：加熱器　切入點(diǎn)：藍(lán)寶石襯底　出處：《紅外技術(shù)》2017年01期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了研究真空系統(tǒng)中被加熱的藍(lán)寶石襯底應(yīng)力的變化,利用有限元分析方法,借助ANSYS Workbench軟件仿真了溫度場以及應(yīng)力場,對兩種不同結(jié)構(gòu)的加熱器及加熱工藝參數(shù)進(jìn)行了分析。用多圈鎢絲螺旋結(jié)構(gòu)外加拋物面釜的加熱器,并改變工作電流,將200℃下溫度差異由41.13℃降低至2.33℃,使厚度為2 mm、直徑40 mm的藍(lán)寶石襯底整個(gè)圓面內(nèi)的應(yīng)力差異由2.11 MPa減小為1.56 MPa,應(yīng)力差異減小了26.1%。結(jié)果表明,采用多圈鎢絲螺旋結(jié)構(gòu)外加拋物面釜可獲得高均勻性的加熱器溫度場,且當(dāng)工作電流為12 A時(shí),加熱的藍(lán)寶石襯底整個(gè)表面應(yīng)力分布均勻。并采用藍(lán)寶石襯底的應(yīng)力檢測結(jié)果進(jìn)行了驗(yàn)證。研究結(jié)果對真空系統(tǒng)中被加熱的其它材料如GaAs、InGaAs、GaN、Si、石英玻璃等應(yīng)力分析研究具有一定的借鑒意義。
[Abstract]:In order to study the stress variation of sapphire substrate heated in vacuum system, the temperature field and stress field are simulated by means of finite element analysis and ANSYS Workbench software. Two kinds of heaters with different structures and their heating process parameters were analyzed. The temperature difference at 200 鈩，

本文編號(hào)：1649079