本文選題：半導(dǎo)體激光　切入點：透射成像　出處：《光學(xué)技術(shù)》2017年06期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了同時同位測量石英管的外徑和壁厚,建立了激光透射成像系統(tǒng),對系統(tǒng)測量原理進行研究。基于幾何光學(xué)和菲涅爾公式,分別導(dǎo)出平行光垂直照射石英管后的透射光線偏向角、相對光強與入射光線離軸距離之間的關(guān)系;通過數(shù)值計算,分析了偏向角、相對透射光強隨入射光線離軸距離的變化特點;針對物方遠心光路,分析了光闌對偏向角和相對光強的限制;基于CCD成像原理,通過引入標定系數(shù)和補償因子,導(dǎo)出石英管外徑與壁厚的計算公式。實驗結(jié)果表明:外徑絕對誤差和相對誤差的平均值分別為0.119mm和0.91%,壁厚絕對誤差和相對誤差的平均值分別為0.153mm和6%。
[Abstract]:In order to simultaneously measure the external diameter and wall thickness of quartz tube at the same time, a laser transmission imaging system is established. The measurement principle of the system is studied. Based on geometric optics and Fresnel formula, The relationship between the relative light intensity and the distance from the axis of the incident light is derived, and the angle of deviation is analyzed by numerical calculation. The characteristics of the relative transmission intensity with the distance from the axis of the incident light, the limitation of the aperture deflection angle and the relative light intensity on the far-centered optical path are analyzed. Based on the principle of CCD imaging, the calibration coefficient and compensation factor are introduced. The formulas for calculating the outer diameter and wall thickness of quartz tube are derived. The experimental results show that the average values of absolute error and relative error of outer diameter are 0.119mm and 0.91mm respectively, and the average values of absolute error and relative error of wall thickness are 0.153mm and 6mm respectively.
【作者單位】： 燕山大學(xué)理學(xué)院;燕山大學(xué)里仁學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11504320)
【分類號】：TN249;TP391.41

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本文編號：1634202