本文選題：設(shè)備綜合效率　切入點(diǎn)：設(shè)備效率　出處：《電子科技大學(xué)》2016年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

【摘要】：半導(dǎo)體制造技術(shù)在不斷變化,產(chǎn)品的多樣性,在工序的復(fù)雜度越來越高的狀態(tài)下,對設(shè)備的高精度化,設(shè)備的自動化程度也越來越高,而半導(dǎo)體制造業(yè)的設(shè)備價格也日益昂貴起來。其更新與維護(hù)占企業(yè)投資成本的最大比重,因此,挖掘出設(shè)備的最高利用率使其發(fā)揮其全部的生產(chǎn)能力為公司創(chuàng)造最大利潤是企業(yè)高管們都在思考的一個問題,也是企業(yè)決定芯片制造成本的重要因素之一。本文所研究的內(nèi)容是當(dāng)前CIM系統(tǒng)中生產(chǎn)設(shè)備效能跟蹤系統(tǒng)OEE(Owerall Equipment Efficiency)系統(tǒng),它是與半導(dǎo)體制造設(shè)備聯(lián)系得最為密切的應(yīng)用程序。它通過與機(jī)臺連接的SECS(SEMI Equipment Communication Standard)通信協(xié)議取得以機(jī)臺的連接,從而達(dá)到自動收集設(shè)備生產(chǎn)運(yùn)行數(shù)據(jù)用于設(shè)備效能計算,OEE系統(tǒng)將作為最底層的接口來實(shí)現(xiàn)CIM系統(tǒng)與設(shè)備效能管理系統(tǒng)的連接,并將數(shù)據(jù)以特定的格式寫入日志文件中。利用后臺腳本程序進(jìn)行數(shù)據(jù)庫連接與操作,日志文本的獲取與解析,通過公司網(wǎng)絡(luò)獲取各個OEE客戶端的日志文件,并運(yùn)用OEE的后臺程序以相同的方法進(jìn)行讀取,解析出所需的數(shù)據(jù)并把這些數(shù)據(jù)存入數(shù)據(jù)庫,再利用數(shù)據(jù)庫處理語言PL/SQL對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,并把每種類型的設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行匯總。從而計算機(jī)出切實(shí)有效的產(chǎn)能效率數(shù)據(jù),使管理者清楚的知道當(dāng)前的設(shè)備效率信息。更進(jìn)一步,OEE系統(tǒng)不僅僅看到生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行效率信息,根據(jù)設(shè)備具體的各種操作運(yùn)行的時間的統(tǒng)計,分析影響企業(yè)設(shè)備損失效率的關(guān)鍵因素。從而為企業(yè)提高生產(chǎn)力,減少浪費(fèi),節(jié)約成本提供有力的數(shù)據(jù)依據(jù),也為企業(yè)的管理者的決策提供強(qiáng)有力的數(shù)據(jù)依據(jù)。本文先回顧了半導(dǎo)體企業(yè)的發(fā)展歷程,芯片制造業(yè)的演變,以及相應(yīng)的輔助制造系統(tǒng)的發(fā)展歷史。計算機(jī)集成制造系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造業(yè)中的作用以及挑戰(zhàn),從而提出了OEE系統(tǒng)的需求,并對此需求做出了全面的分析。并最終歸劃了OEE系統(tǒng)的功能模塊以及框架結(jié)構(gòu),并最終實(shí)現(xiàn)到公司的實(shí)際應(yīng)用中來。
[Abstract]:Semiconductor manufacturing technology is changing, product diversity, complexity in the process more and more high under the condition of high precision equipment, automation equipment are increasingly high, and semiconductor manufacturing equipment price is also becoming more expensive. The updating and maintenance accounted for the largest proportion of enterprise investment cost therefore, to dig out the highest utilization rate of equipment to enable it to play all of its capacity for the company to create the largest profit is the corporate executives who are thinking about a problem, enterprise decision is one of the important factors of chip manufacturing cost. This paper studies the content of the current CIM system in the production efficiency of equipment tracking system OEE (Owerall Equipment Efficiency) system, it is with the semiconductor manufacturing equipment contact most applications. It is closely connected with the SECS (SEMI Equipment Communication Standard) communication protocol. In order to obtain on the machine connection, so as to achieve automatic collection equipment production operation data for equipment efficiency calculation, OEE system will be used as the bottom of the interface to achieve the connection of CIM system and the efficiency of equipment management system, and writes the data in a specified format in the log file. Use the background script for the database connection and operation, access with the analysis of log text, access to all OEE clients through the company network log files, and use the OEE Daemon in the same way to read, parse out the required data and the data stored in the database, and then use the database language PL/SQL to analyze the data, and the data of each type of equipment are summarized computer capacity. Thus the efficiency of data effectively, make the managers know the information of current equipment efficiency. Further more, the OEE system not only see The information efficiency of production equipment, according to the statistics of all kinds of operation equipment specific time, analysed the key factors affecting the efficiency of the enterprise. The loss of equipment to reduce waste to improve productivity, and provide powerful data for cost savings, but also for the enterprise management decision provides strong data basis. This article first reviews the development of semiconductor industry, the evolution of chip manufacturing, as well as the corresponding aided manufacturing system development history. Computer integrated manufacturing system in the semiconductor manufacturing industry in the role and challenges, and puts forward the requirements of OEE system, and the need to make a comprehensive analysis. And finally divided the function module of OEE system and the frame structure, and ultimately to the actual application in the past.

【學(xué)位授予單位】：電子科技大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TN305

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本文編號：1610824