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基于后焦面成像的聚合物平面波導光學參數(shù)測量儀

發(fā)布時間:2018-03-10 03:04

  本文選題:波導光學 切入點:后焦面成像 出處:《量子電子學報》2017年03期  論文類型:期刊論文


【摘要】:基于后焦面成像確定波導傳播特性的基本原理,結(jié)合平面波導中的菲涅爾反射理論,設計了一種聚合物平面波導光學參數(shù)測量儀。通過MATLAB擬合處理數(shù)據(jù)實現(xiàn)了對樣品局部折射率和厚度高精度、高空間分辨率的實時測量,平面波導厚度測量精度可以達到納米量級,空間分辨率可達到300 nm。該測量儀結(jié)構簡單、易于操作,在光學傳感和細胞內(nèi)生物傳感領域具有很高的應用價值。
[Abstract]:Based on the basic principle of determining the propagation characteristics of waveguides by posterior focal plane imaging, combined with Fresnel reflection theory in planar waveguides, A polymer planar waveguide optical parameter measuring instrument is designed. The real time measurement of the local refractive index and thickness of the sample is realized by MATLAB fitting and processing data, which has high spatial resolution and high precision. The measurement precision of planar waveguide thickness can reach nanometer order and the spatial resolution can reach 300 nm. The instrument is simple in structure and easy to operate. It has high application value in the field of optical sensing and intracellular biosensor.
【作者單位】: 中國科學技術大學光學與光學工程系安徽省光電子科學與技術重點實驗室;
【基金】:國家自然科學基金,11374286,61427818 國家科技部973項目,2013CBA01703 安徽省杰青青年科學基金,1608085J02~~
【分類號】:TN252

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本文編號:1591459

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