本文選題：熔石英　切入點：雜質(zhì)粒子　出處：《紅外與激光工程》2017年04期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：基于Mie理論和熱傳導(dǎo)方程,結(jié)合ICP-OES對熔石英亞表面雜質(zhì)粒子的主要成分測量,建立了計算吸收性雜質(zhì)粒子誘導(dǎo)熔石英光學(xué)元件表面損傷概率的模型。通過該模型理論研究了不同種類的雜質(zhì)粒子誘導(dǎo)損傷所需的臨界能量密度隨粒子尺寸的變化,以及不同尺寸分布的雜質(zhì)粒子誘導(dǎo)熔石英表面的損傷概率。通過損傷實驗測試獲得了不同光斑尺寸的355 nm激光輻照作用下熔石英表面的損傷概率,與理論計算結(jié)果進行對比,在相同粒子分布參數(shù)下,分析了三種雜質(zhì)粒子對損傷概率的貢獻(CuAlCeO_2)。通過該模型能夠分析光學(xué)基底或薄膜亞表面中不同潛在的雜質(zhì)吸收性粒子對光學(xué)元件損傷概率的影響。
[Abstract]:Based on Mie theory and heat conduction equation, the main components of quartz subsurface impurity particles were measured with ICP-OES. A model for calculating the surface damage probability of fused quartz optical elements induced by absorbing impurity particles is established, and the critical energy density required by different impurity particles to induce damage is studied by using the model theory, and the variation of critical energy density with particle size is studied. And the damage probability of fused quartz surface induced by impurity particles with different size distribution. The damage probability of fused quartz surface induced by 355nm laser irradiation with different spot sizes was obtained by damage test, and the results were compared with the theoretical results. Under the same particle distribution parameters, the contribution of three kinds of impurity particles to the damage probability is analyzed. The model can be used to analyze the influence of different potential impurity absorbability particles on the damage probability of optical elements.
【作者單位】： 西南科技大學(xué)中國工程物理研究院激光聚變研究中心極端條件物質(zhì)特性聯(lián)合實驗室;中國工程物理研究院激光聚變研究中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金青年基金(61505170,61505171);國家自然科學(xué)基金聯(lián)合基金(U1530109)
【分類號】：TN249

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本文編號：1569061