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日盲探測寬波段低噪聲濾波器件的研制

發(fā)布時間:2018-03-04 06:19

  本文選題:薄膜 切入點:濾光膜 出處:《中國激光》2017年06期  論文類型:期刊論文


【摘要】:為滿足日盲探測系統(tǒng)的技術要求,研制了一種可以實現(xiàn)紫外日盲區(qū)(200~270nm)高透射、近紫外到近紅外區(qū)(300~1200nm)深截止的光學濾光片。通過分析材料的光學特性,結合光學薄膜理論,優(yōu)化膜系結構,設計了介質與金屬組合的膜系。采用電子束加熱蒸發(fā)的方法沉積金屬膜,通過對沉積速率的實驗研究,在保證金屬光學性能的前提下,有效降低了膜厚控制誤差。采用逆向反演法與膜層敏感度分析,對諧振層工藝參數(shù)進行優(yōu)化,有效降低了諧振層的控制誤差。該濾光膜在200~270nm波段的平均透射率達到51.21%,在300~1200nm抑制區(qū)的平均透射率為0.90%。
[Abstract]:In order to meet the technical requirements of the solar blind detection system, a kind of optical filter, which can realize the high transmission of ultraviolet solar blind area (200nm) and the near ultraviolet to near infrared region (300nm), has been developed. By analyzing the optical properties of the material and combining with the theory of optical thin film, The structure of the film system is optimized and the film system of the combination of the medium and the metal is designed. The metal film is deposited by the method of electron beam heating evaporation. Through the experimental study of the deposition rate, the optical properties of the metal are guaranteed. The reverse inversion method and the sensitivity analysis are used to optimize the process parameters of the resonant layer. The control error of the resonant layer is reduced effectively. The average transmittance of the filter film is 51.21 at 200 nm and 0.90 at 300 ~ 1200 nm.
【作者單位】: 長春理工大學光電工程學院;
【基金】:吉林省重大科技攻關專項(20140203002GX)
【分類號】:O484;TN713

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本文編號:1564485

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