本文選題：薄膜　切入點(diǎn)：濾光膜　出處：《中國(guó)激光》2017年06期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：為滿(mǎn)足日盲探測(cè)系統(tǒng)的技術(shù)要求,研制了一種可以實(shí)現(xiàn)紫外日盲區(qū)(200~270nm)高透射、近紫外到近紅外區(qū)(300~1200nm)深截止的光學(xué)濾光片。通過(guò)分析材料的光學(xué)特性,結(jié)合光學(xué)薄膜理論,優(yōu)化膜系結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)了介質(zhì)與金屬組合的膜系。采用電子束加熱蒸發(fā)的方法沉積金屬膜,通過(guò)對(duì)沉積速率的實(shí)驗(yàn)研究,在保證金屬光學(xué)性能的前提下,有效降低了膜厚控制誤差。采用逆向反演法與膜層敏感度分析,對(duì)諧振層工藝參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,有效降低了諧振層的控制誤差。該濾光膜在200~270nm波段的平均透射率達(dá)到51.21%,在300~1200nm抑制區(qū)的平均透射率為0.90%。
[Abstract]:In order to meet the technical requirements of the solar blind detection system, a kind of optical filter, which can realize the high transmission of ultraviolet solar blind area (200nm) and the near ultraviolet to near infrared region (300nm), has been developed. By analyzing the optical properties of the material and combining with the theory of optical thin film, The structure of the film system is optimized and the film system of the combination of the medium and the metal is designed. The metal film is deposited by the method of electron beam heating evaporation. Through the experimental study of the deposition rate, the optical properties of the metal are guaranteed. The reverse inversion method and the sensitivity analysis are used to optimize the process parameters of the resonant layer. The control error of the resonant layer is reduced effectively. The average transmittance of the filter film is 51.21 at 200 nm and 0.90 at 300 ~ 1200 nm.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：吉林省重大科技攻關(guān)專(zhuān)項(xiàng)(20140203002GX)
【分類(lèi)號(hào)】：O484;TN713

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本文編號(hào)：1564485